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产品型号 | 2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC |
主要特点 | 1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高?；は低?。 3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到 3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量计精度为4%。 6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。 |
技术参数 | 感应加热器 1、工作电压：三相AC 380 V 50Hz（需60 A空气开关） 2、工作电流：7Amps-70Amps（需100A空气开关） 3、功率：zui大振荡功率30KW，zui大输入功率15KW 4、输出频率：30KHz-110 KHz 5、占空比：80% 6、感应线圈：内径Φ220 mm，高65 mm 7、空气冷却：后风扇 |
温度控制器及热电偶 1、工作电压：AC208V-240V 单相 2、控温精度：±3℃ 3、热电偶：C型，外径Φ1/4″，长10″ 4、连续工作温度范围：1000℃-2000℃ 5、zui大升温速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃） | |
石墨坩埚（易耗件） 1、高纯石墨坩埚：外径Φ114mm，内径Φ100mm，高142mm 2、zui大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，zui大质量为4kg（以铁标定） 3、保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温 1700℃）-高温毡，总厚度为32mm | |
石英管和密封法兰 1、石英管：两端开口，外径Φ216mm，内径Φ208mm，长500mm 2、顶部法兰：采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4″的铠装接口（ 可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度） 3、底部法兰：设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接 | |
水冷机 1、温度：5℃-30℃ 2、水流速：>16L/min 3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作 4、水压：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min （建议使用特定的冷却剂液以达到*的冷却效果） | |
真空泵 工作电压：AC208V-240V单相 | |
移动炉架 尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管 | |
产品规格 |  |
注意事项 | 操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气 下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内 的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。 |
其他事项 | 本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。 |
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