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善準等離子體去膠機詳細技術參數(shù)

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善準等離子體去膠機VP-RS15對標國際一線廠商,補充國內(nèi)技術短板(真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置),真空腔體不銹鋼材質(zhì),功率500W,頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于晶圓去膠、芯片去膠、半導體刻蝕、硅材料刻蝕、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體處理。


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