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皮米精度位移测量仪
昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器，达到了*50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道，使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的距离测量。因此，皮米精度位移测量仪不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中得到。
干涉传感头
根据反射目标的不同，所有应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的。所有的quDIS的传感器头都是基于光纤的，除了标准准直仪和已建立的聚焦头，quDIS还为恶劣环境下的应用程序设计了特殊的头。
用于测量高温漂移物体的传感器头的设计
镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头
产品关键特性：
信号稳定性：< 0.05nm
距离测量
0.1——20m工作距离
工作带宽25kHz
目标速度1m/s
3个传感头，多设备同步
应用领域：
干涉距离测量
振动分析
束线中断补充
间隙和边缘测量
环境振动分析
位移台精度评估
皮米精度位置测量仪参数列表：
| 干涉仪 | 传感头 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <400uW | 信号稳定性 | < 0.05nm |
| 波长 | 1535nm | 距离稳定性 | <200nm |
| 线宽 | <5MHz | 带宽 | 25kHz |
| 传感器通道 | 3 | 工作距离 | 0.1—20m |
| 光纤输入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目标速度 | <1m/s |
| Mating Sleeves | 传感头 | 真空 | |
| 同步 | 多台设备同步 | 低温 | |
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