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高速壓電快速傾斜鏡
光電推出的高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷直推驅動，零摩擦的柔性鉸鏈為導向系統(tǒng)使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供的響應時間和和速度。
快速偏轉鏡、偏轉鏡、壓電偏轉鏡、快速傾斜鏡、Piezo Tip/Tilt Mirror 快速Tip/Tilt偏轉鏡，壓電偏擺臺，高精度偏擺臺
高速壓電快速傾斜鏡
高速精密壓電偏轉鏡是為了滿足在光學成像和檢測系統(tǒng)中鏡子超快超精密定位的需求設計的。高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷為驅動，利用無摩擦的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)，使偏轉鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優(yōu)點。
該偏轉鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供的響應時間和和速度。
有限公司的高速精密壓電偏轉鏡有以下幾款產品：
AU-NPS-q-2A為qx偏轉鏡，該偏轉鏡的偏轉行程為2毫弧度，分辨率可達到亞微弧度。封閉的封裝可以提供更高的穩(wěn)定性和可靠性。采用不銹鋼材質，以及柔性鉸鏈導向系統(tǒng)和優(yōu)異的閉環(huán)控制系統(tǒng)使其擁有極快的響應速度和時間，響應時間小于1毫秒。自振頻率在空載下可達到5000Hz。
AU-NPS-qg-2B為快速Tip/Tilt偏轉鏡，該偏轉鏡的閉環(huán)擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量級。采用鋁合金材質，低的移動質量以及優(yōu)異的閉環(huán)控制系統(tǒng)可以提供的響應時間和速度。
AU-XPS-qg-2A為開環(huán)快速Tip/Tilt偏轉鏡，該偏轉鏡的開環(huán)擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量級。該產品的帶寬可達到2kHz，低的移動質量以及優(yōu)異的開環(huán)控制系統(tǒng)可以提供的響應時間和速度，信號響應時間可達到5ms。
u 產品主要特點
u 主要應用
精確光束控制、圖像抖動校正等。
u 主要參數
產品 參數 | AU-NPS-q-2A | AU-NPS-qg-2B | AU-XPS-qg-2A | |
Material | Stainless steel | Aluminium (Electroless nickel plated) | Aluminium (Electroless nickel plated) | |
Size (mm) | 35 (high) by 30 (diameter) | 56 high x 60 diameter | 35 high x 30 diameter | |
Range (mrad) | Minimum |
| ±1 | ±1.25 |
Typical | ± 1 | ±1.05 | ±1.4 | |
Maximum |
|
|
| |
Resonant frequency: 0g load (Hz) /Typical | 5000 | 1000 | 2000 | |
Position noise | Fast |
0.05μrad | 15 nrad |
|
Medium | 6 nrad | |||
Slow | 2 nrad | |||
Linearity error (peak) | Minimum |
0.2% |
|
|
Typical | 0.03% | |||
Maximum | 0.05% | |||
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