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桌面型小型蒸发镀膜仪，可提供100A的镀膜电流，蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，出厂经过除气处理，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。真空腔体采用上掀盖开启方式，便于取放样，腔体上配置有带挡板的适应观察窗，用于观察镀膜过程，挡板则可以有效防止观察窗被膜料污染。
产品名称 | 小型高真空双源热蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVZ254-II-HH-SS | |
样品台 | 尺寸 | φ60mm |
转速 | 1-20rpm可调 | |
至蒸发源间距 | 60mm~100mm可调 | |
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 |
热电偶 | S型热电偶 | |
*高温度 | 1800℃ | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ254mm×300mm |
观察窗口 | 石英观察窗 φ80 | |
开启方式 | 上开启式 | |
腔体材料 | 不锈钢 | |
真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A |
抽气接口 | KF40 | |
分子泵 | 大阪60l/s | |
排气接口 | KF16 | |
前极泵 | 旋片泵 | |
真空测量 | 复合真空计 | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
抽气速率 | 分子泵：60L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-4Pa | |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kw | |
整机尺寸 | 600mm× 300mm× 470mm | |
整机重量 | 40kg | |
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