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高纯度薄膜：由于在高真空条件下进行，减少了气体分子与蒸发材料的碰撞，从而能够制备出高纯度的薄膜。
**控制：蒸发镀膜技术允许对薄膜的厚度、成分和结构进行**控制，这在许多高精度应用中至关重要。
适用多种材料：蒸发镀膜技术可以用于多种材料，包括金属、合金、氧化物、碳化物、氮化物以及有机材料等。
高沉积速率：特别是使用电子束蒸发时，由于高能量的电子束能够快速加热材料，可以实现高沉积速率。
均匀性：通过适当的工艺参数调整，可以在大面积基底上获得均匀的薄膜。
低损伤：由于加热主要集中在蒸发材料上，对基底的热影响较小，适用于热敏材料的薄膜沉积。
参数名称 | 参数说明 | |
产品名称 | 桌面型有机源蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVZ254-I-H-SS | |
真空腔体 | 腔体材质 | 304不锈钢焊接而成，表面做抛光处理 |
取放模式 | 前开门方式取放样品和蒸镀材料 | |
观察窗 | 直径80mm真空窗口，配有磁力挡板，防止污染 | |
样品台 | 样品尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
旋转速度 | 分不旋转和旋转型（0-20RPM） | |
加热温度 | ≦1800℃ | |
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮或坞舟 1个 |
样品台蒸发源距离 | 60-100mm 可调 | |
镀膜方式 | 热蒸发镀膜 | |
真空系统 | 抽气接口：KF25/40, 排气接口： KF16 | |
复合真空计，电阻规+电离规 | ||
前级泵 | 旋片泵 抽速： 1.1L/S | |
分子泵 | 抽速： 62L/S (大阪分子泵) | |
膜厚测量 | 通常配CYKY膜厚测量仪 （可?。?/span> | |
也可选配进口品牌，价格额外计算 | ||
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 2KW | |
外形尺寸 | 750mm X 450mm X750mm | |
包装重量 | 70 KG | |
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