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简单介绍：
多源真空蒸发镀膜仪适用于对氧敏感的金属薄膜（如Ti、Al、Au等）的蒸镀，也适用于各种氧化物材料的蒸镀。
详情介绍：
本设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有完善的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不?；》叛?、?；炔僮?。
本设备的蒸发源共两组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可支持300A的大电流，加热温度可达1800℃，可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。
技术参数:
多源真空蒸发镀膜仪 | ||
样品台 | 尺寸 | φ150mm样品 |
高度 | 上下150mm可调 | |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 |
真空腔体
| 腔体尺寸 | φ500x700mm |
观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪 | |
真空系统
| 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | ISO160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
流量计 | 可选一路质量流量计 500sccm Ar气 | |
控制系统 | PLC自动控制 操作界面：触控屏+操作面板 | |
其他
| 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 1200mm X 900mm X 1500mm | |
整机重量 | 500kg | |
整机功率 | 5kW | |
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