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简单介绍：
5英寸近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
详情介绍：
近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20oC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1oC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池.
技术参数：
产品名称 | 5英寸近源有机物蒸发镀膜炉 | |
产品型号 | CY-EVH350JJL-5"-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | 5"x5" |
转速 | 1-20RPM | |
可调温度 | ≦950℃ | |
热蒸发源 | 20个红外灯管作为加热元件 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
观察窗口 | 100 mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） | |
真空系统 | 配有一套分子泵系统 | |
系统真空 | 1×10-5Pa | |
流量计 | 两路浮子流量计 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作温度 | 每个加热器的*高温度：RT-950℃。 两个加热器之间的*大温差：<= 300oC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315oC @ 仅加热底部 | |
温控系统 | 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶?；?/span> | |
水 冷 | 循环水冷机（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | 208V 60HZ 三相 |
整机尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
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