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简单介绍：
高真空电子束蒸发镀膜仪主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，微纳器件微加工，电镜样品预处理等，尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜。
技术参数：
产品名称 | 高真空电子束蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EBH500-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | <150mm，样品台可旋转 |
可调温度 | ≦500℃ | |
电子枪 | 新型电子枪，6孔坩埚 | |
加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ500*H500mm |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 采用SQM160膜厚仪进行监控，涂层厚度不均匀度小于6%。 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
系统真空 | 5×10-5Pa | |
水冷系统 | 水压<2.5bar 水压监测 | |
加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
电极接口 | 带2路金属蒸发电极接口 | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | AC380V,50Hz |
整机尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整机功率 | 20KW | |
整机重量 | 350kg | |
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