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简单介绍：
双靶等离子溅射镀膜仪（增强型）采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台，能够有效的提升镀膜的均匀性。（本设备配有旋转加热样品台，可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力）该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。设备体积小巧造型美观，是实验室镀膜试验的*佳选择。
技术参数：
产品名称 | 双靶等离子溅射镀膜仪（增强型） | |
产品型号 | CY-PLZ180-II-DC-Q | |
样 品 台 | 尺寸 | 100mm |
旋转速度 | 1~20rpm可调 | |
加热温度 | ≤500℃ | |
控温精度 | ±1℃ PID控温 | |
等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸x2 |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 200mm |
观察窗口 | 全向可视 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
上下盖材质 | 304不锈钢 | |
抽气接口 | KF25 | |
进气接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
电源配置 | 数量 | 直流电源x1 |
输出功率 | *大150W | |
溅射电源 | 3000V | |
*大溅射电流 | 50mA | |
真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
抽气接口 | KF25 | |
排气接口 | KF16 | |
抽气速率 | 1.1L/s（4m3/h） | |
极限真空度 | ≥1Pa | |
真空测量 | 电阻真空规 | |
其 他 | 供电电源 | AC 220V 50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 570mm X 450mm X550mm | |
整机重量 | 30kg | |
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