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超声波气氛加热匀胶机是一款直径300mm、灵活的旋转匀胶设备，可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上，进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件，可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路，可将惰性气体通入腔体内，在匀胶时?；そ阂翰皇湛掌械钠逵跋?。 此款匀胶机适用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆?？稍冉簔ui大圆晶尺寸为12英寸，转速可达3000rpm，加速度可达2000rpm；具有转速稳定，启动迅速，操作方便等优点，并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性，是一款性能优良的产品.
1. 采用直流无刷电机，单片机控制
2. 高清晰触摸屏控制
3. 可进行单步多步匀胶操作，可存储五种程序，每种程序可设置五步操作
4. 防堵胶设计
5. 铝合金腔体，坚固耐用
6. 带有超声波，气氛，加热等多种辅助功能，为匀胶研究进行多种辅助
产品名称 超声波辅助气氛匀胶机 产品型号 CY-SPC12T-SS-UL 匀胶机 圆晶尺寸 12英寸 旋转速度 30~3000rpm可调 旋转加速度 30~2000rpm/s可调 单次*长匀胶时间 3000s 匀胶腔体尺寸 φ390mm*90mm 电压 220V 50Hz 功率 1.5KW 加热温度 0-100℃ 质保时间 易损件除外，1年，终身技术支持 匀胶机真空吸盘 12寸 一个（标配）；6寸 一个（定制） 匀胶机定制纯机械卡盘 12英寸 一个（额外定制）；6英寸 一个（额外定制） 无油真空泵 型号：AP-2000V 功率：0.55kw *低真空度：-700mmHg；-92Kpa *大空气流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg 超声波系统 雾化头材质 钛合金 频率 50kHz 功率 30W 流量 0.55mL/s 微粒直径 25um 雾化头类型 锥型 雾化头重量 0.3kg 超声波电源尺寸 315*312*135mm 超声波电源重量 5kg 注射泵 流量范围 0.001uL/min-43.349mL/min 掉电记忆工能 保存设置参数，重新上电后，无需设置 适用进样器规格 10uL-1000uL 适用注射器规格 1mL-60mL 加热温度 0-100℃ 线速度范围 5um/min-65um/min 线速度调节分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 额定线性推力 ＞90N 流量计 控制气体种类 2种 气体流速 16-160mL/min
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