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主要性能指标

1：主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

2：内腔采用易清洁、耐腐蚀的超高分子材料（HDPE）

3：旋涂程序：*多可存100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒

4：旋涂速度：0-10000rpm

5：旋涂加速度：0-50000rpm/s

6：马达旋涂转速稳定性能误差：＜±1rpm（CY-AC200-SE)；＜±0.1rpm（CY-AC200-PE)

7：转速调节精度及重复性：1rpm（CY-AC200-SE);0.1rpm（CY-AC200-PE)

8：CY-AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

9：工艺时间设定：0-3000sec/step，时间设置精度：0.1sec

10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圆晶）

11：旋涂作业均匀性：＜±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米测量）

产品特性优点

1：*新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸

2:采用7英寸触摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密闭碗"设计，可以适应各种材料的匀胶工艺。

4：标准配置的转速为10000rpm，可以根据用户需要进行定制

5：采用工业级的伺服电机，电机的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部

6：机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，不生锈，便于清洗。

7：排风和抽气系统位于载片台的底部，利于排风效率和匀胶的均一性

8：透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。