LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计
韩国流量计，超声波流量计替代 日本品牌产品 TKK 东富科TOFCO
◎ 高纯度药液与超纯粹等液体的高速精密流量测量
◎ 高品质高精密的半导体与产业用非接触式超声波测量仪使用
◎ 以RS-485通信(Modbus)监视多数流量
◎ 以电源分离屏蔽外部干扰及所有输入输出RFI/EMI (CE认证)
◎ 可以测量多种液体的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氢氟酸, 氨水等)
◎ 7 Segment 4Digit Display
◎ 外部输出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制
◎ AMP(6渠道) 一体化，空间最小化
◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(选项)
LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计
◎ 瞬时及积算Flow Meter(ml/min)
◎ 通过超声波波形分析功能提供精密测量
◎ 对因药液及温度变化而产生的误差自动补正
◎ 以Serial Comm. 提供各样的应用技术及维护软件道具
LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计
◎ 高品质,高精密度的半导体及产业用非接触式流量计
◎ 可根据通信 RS-485(Modbus) 进行多流量监控
◎ 根据电源分离的外部电源 Noise 和输入/输出 RFI/EMC 屏蔽(CE认证)
◎ 内置外部输出功能 - Analog Out : 4~20mA (16bit)- Sol Valve 控制用 Output
◎ DI,硝酸,硫酸,过氧化氢,氢氟酸,氨水,SC-1等 可测定多种药液
◎ 6通道AMP一体化构成, 安装空间最小化(1/4 inch)
◎ 瞬时与累计 Flow Meter [ml/min]
◎ 搭载超声波波形分析 Scope 功能进行精密流量测量
◎ 通过串行通信提供多种应用技术和 Maintenance Tool
LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计
产品规格
控制器（AMP）规格
区分 | 样式 |
电源 | DC+24V（±10%） |
温度 | 0~50℃ |
消耗电流 | 约25.2W（六频道） |
防水结构 | IP20 |
通信规格 | RS-485（MODBUS） |
产品尺寸 | 50mm × 126mm × 79.5mm |
重量 | 293g（六频道） |
CE认证 | EN61326,55011 |
LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计
区分 | 样式 |
测量对象 | 全部液体 |
流体温度 | 10~90℃ |
流体压力 | 0~0.35Mpa（极限值0.5Mpa） |
声波范围 | 1000~2200m/Sec |
防水结构 | IP65 |
材质 | PFA |
标准管径 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
线缆长度 | （样式）：2M，3M，5M |
流量范围和精度
区分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 备注 |
药液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范围 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管径 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外径（内径）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
竞品比较(Standard : inch type)
类别 | 韩国LS M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 备注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 设置尺寸较小， 安装尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
电源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更为精准 |
流体温度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高温使用 |
响应时间 | 1.5 sec | - | - | 反应速度快 |
可测范围(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模拟输出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 绝缘类型适用 (5 kV rms isolated) |
频道数 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
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