韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
◎高纯度药液和超纯水等液体的高速精密流量控制。
◎ 运用在半导体及其它领域的高品质，高精密度非接触流量计。
◎ 可以对多种液体进行流量控制(DI, 硝酸, 硫酸, 双氧水, 氨水等)
◎ 采用电源分离的设计，屏蔽了外部电源的干扰和输入输出时产生的 RFI/EMI
◎ 使用RS-485通信对多台LFC进行控制和监控
◎ 专用PC程序提供
◎ 内置外部输出功能
◎ AMP(2频道) 一体化结构使使用空间最小化
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
首先我们对于您给予 MERIT100这个产品以极大的信任表示感谢.
MERIT100在洁净室的环境中进行生产并经历严格的品质管理在出货前经历多项检测因此造就了优秀的性能的品质。
该机器是为了快速、精密地测定管道内流动液体的流量而设计制作的,同时外观的设计兼顾耐用和美观的优点。
MERIT200是一款具备丰富功能及多种外部接口功能的产品，为了用
◎ 可以告诉精密的对目标流量进行测定
◎ 对液体和温度的不同进行补偿
◎ 对总流量值进行累计计算
◎ 过滤流量的微震
◎ 搭载超声波波形镜像功能对流量进行精密测量
◎ 通过串口通信提供多元的控制及多种应用技术
◎ 通过 RS-485(Modbus)通信对多数流量进行监控。
◎ 高速测定的应答性(初期 Target Flow Rate 98%, 2Sec 以内)
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
◎ 半导体 及 Display 清洗装备 : 流入的清洁液流量精密检测用
◎ 特殊化学用: 多样的液体(DI, 硝酸, 硫酸, 双氧水, 氨水等)的精密流量监控
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
流量部规格
区分 | 样式 |
测量对象 | 全部液体 |
流体温度 | 10~90℃ |
流体压力 | 0~0.35Mpa（极限值0.5Mpa） |
声波范围 | 1000~2200m/Sec |
防水结构 | IP65 |
材质 | PFA |
标准管径 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
线缆长度 | （样式）：2M，3M，5M |
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
流量范围和精度
区分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 备注 |
药液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范围 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管径 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外径（内径）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
竞品比较(Standard : inch type)
类别 | 韩国LS M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 备注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 设置尺寸较小， 安装尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
电源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更为精准 |
流体温度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高温使用 |
响应时间 | 1.5 sec | - | - | 反应速度快 |
可测范围(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模拟输出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 绝缘类型适用 (5 kV rms isolated) |
频道数 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
韩国LS|M100半导体单片清洗设备专用流量计
MERIT200报警现象可能是有管道设置，流量液体或者机械问题所导致的。正确的把握问题的状况才能做出正确的应对措施，一下是一些常见的报价原因如发生报警请参考下表。
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