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瑞士VA超高真空快速關(guān)閉閥75.0/75.2 對快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問題并且需投入精力來恢復(fù)所需真空水平。 75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于閥門直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭的，因此，75.0 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。 75.0 系列為翻板閥 (DN 63-200)，采用氣動驅(qū)動方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃，驅(qū)動器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封，閘封為氟橡膠，饋通件以焊接金屬波紋管密封。 快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來確保快速關(guān)閉。控制器采用模塊化設(shè)計，可針對不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過該控制器提供，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理，閥門也可以通過控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。 經(jīng)證明，75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下的所有加速器和儲存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能，成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。 75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F，也可選擇客戶指定法蘭。 該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy，閘封的輻射抗性為 105 Gy（106 Gy 可選），氣動驅(qū)動器的輻射抗性為 104 Gy。 維護(hù)前的標(biāo)準(zhǔn)時間為 2000 次開關(guān)，這意味著該閥門系列在用于其目的時實(shí)際是免維護(hù)的。 特點(diǎn)：
優(yōu)勢：
技術(shù)成熟 實(shí)際免維護(hù) 擁有成本較低 技術(shù)參數(shù)：
| 尺寸 |
| DN 63 (2?"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8") |
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| 驅(qū)動器 | 氣動 | 雙作用 |
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| 閥體材料 |
| 不銹鋼 |
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| 饋通件 |
| 波紋管 |
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| 標(biāo)注法蘭 |
| CF-F |
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| 泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 |
|---|
| | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
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| 壓力范圍 |
| 1 × 10-10 mbar to 2 bar （絕對壓強(qiáng)） |
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| 維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
| 2000次 |
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| 烘烤溫度 | 閥體 | ≤ 200°C |
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| | 驅(qū)動器 | ≤ 50 °C |
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| 輻射抗性 | 閥體
閥板密封件
氣動驅(qū)動器 | 108 Gy
< 105 Gy (option: 106 Gy)
104 Gy |
|---|
| 材料 | 閥體 | AISI 316L (1.4435) |
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| | 機(jī)構(gòu) | AISI 316L (1.4435) |
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| | 閥板 | 鈦 |
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| | 波紋管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
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| 密封 | 閥蓋 | 金屬 |
|---|
| | 閥板 | 氟橡膠 |
|---|
| 安裝位置 |
| 閥座側(cè)（帶標(biāo)記）
與氣流涌動方向相反 |
|---|
商品編號75044-CE44商品編號75036-CE44商品編號75040-CE44商品編號75046-CE44 75.2 - 超高真空快速關(guān)閉閥快速、可靠的超高真空和高真空系統(tǒng)保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)對快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問題并且需投入精力來恢復(fù)所需真空水平。 75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于閥門直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭的，因此，75.2 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。 75.2 系列為閘閥 (DN 40)，采用氣動驅(qū)動方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃，驅(qū)動器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封，閘封為氟橡膠，饋通件以焊接金屬波紋管密封。 快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來確?？焖訇P(guān)閉?？刂破鞑捎媚K化設(shè)計，可針對不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過該控制器提供，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理，閥門也可以通過控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。 經(jīng)證明，75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下加速器和儲存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能，成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。 75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F，也可選擇客戶指定法蘭。 該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy，閘封的輻射抗性為 105 Gy（106 Gy 可選），氣動驅(qū)動器的輻射抗性為 104 Gy 維護(hù)前的標(biāo)準(zhǔn)時間為 2000 次開關(guān)，這意味著該閥門系列在用于其目的時實(shí)際是免維護(hù)的。 特點(diǎn)： 特點(diǎn)：優(yōu)勢：技術(shù)成熟 實(shí)際免維護(hù) 擁有成本較低
技術(shù)參數(shù)：
| 尺寸 |
| DN 40 (1?") |
|---|
| 驅(qū)動器 | 氣動 | 雙作用 |
|---|
| 閥體材料 |
| 不銹鋼 |
|---|
| 饋通件 |
| 波紋管 |
|---|
| 標(biāo)注法蘭 |
| CF-F |
|---|
| 泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 |
|---|
| | 閥座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
|---|
| 壓力范圍 |
| 1 × 10-10 mbar to 2 bar （絕對壓強(qiáng)） |
|---|
| 維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
| 2000次 |
|---|
| 烘烤溫度 | 閥體 | ≤ 200°C |
|---|
| | 驅(qū)動器 | ≤ 50 °C |
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| 輻射抗性 | 閥體
閥板密封件
氣動驅(qū)動器 | 108 Gy
< 105 Gy (option: 106 Gy)
104 Gy |
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| 材料 | 閥體 | AISI 304 (1.4301) |
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| | 機(jī)構(gòu) | AISI 304 (1.4301) |
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| | 閥板 | AISI 304 (1.4301) |
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| | 波紋管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
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| 密封 | 閥蓋 | 金屬 |
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| | 閥板 | 氟橡膠 |
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| 安裝位置 |
| 閥座側(cè)（帶標(biāo)記）
與氣流涌動方向相反 |
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商品編號75232-CE44 瑞士VA超高真空快速關(guān)閉閥75.0/75.2 |
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