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瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司
2025-07-17 14:54:34
上海市
39

【簡單介紹】

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列
高過程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應(yīng)用的理想之選
65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運動，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點。

該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

【詳細(xì)說明】

瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列

65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運動，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點。

該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

65.5 高真空控制擺閥的 DN 為 250 mm (10")，可將最小流導(dǎo)控制為僅有 2 ls-1。由于 32 位驅(qū)動器控制器的數(shù)據(jù)處理能力出色，可將流導(dǎo)增加控制到非常精細(xì)的程度。此外，還可提供更快的驅(qū)動，因為相較于等效的 16 位控制器，傳感器和控制命令的處理速度更快?？刂破魃系母鞣N標(biāo)準(zhǔn)端口連接器可通過個人計算機或連接到過程控制單元輕松訪問。

鐘擺閥板機構(gòu)采用極其堅固的設(shè)計，確保其能夠抵抗任何工藝副產(chǎn)品。為減少密封磨損并避免粒子產(chǎn)生及生成，打開和關(guān)閉運動是分開的。通過遠(yuǎn)離閥座的垂直運動實現(xiàn)第一級流導(dǎo)，然后通過在水平運動中移動鐘擺閥板來增加流導(dǎo)。由于閥板運動可控性佳，預(yù)設(shè)的運動順序可根據(jù)工藝要求進行精確調(diào)整。為確保密封關(guān)閉，通過的特殊壓桿將閥板壓在閥座上。這樣可確保閥板所有區(qū)域的密封壓力均勻分布。

憑借緊湊的設(shè)計和直接安裝選項以及各種其他設(shè)計選項，65.5 系列易于集成到各種真空流程中。

65.5 高真空控制擺閥采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器?？杉煽蛻糁付ǚㄌm，也可作為加熱器，用于工作溫度高達 120℃ 的閥門。

1. 閥門
2. 驅(qū)動器軸
3. 雙軸驅(qū)動器
4. 驅(qū)動器饋通密封
5. 閘封

特點:

在惡劣工藝環(huán)境下提供可靠隔離
低沖擊運行，低粒子生成量
工藝惰性 – 極低的殘余釋氣（殘余氣體分析儀）
運行快速、可調(diào)節(jié)
設(shè)備上壓力控制器
可選傳感器電源僅需一個電源

優(yōu)勢:

壓力控制性能
運行快速，幾乎無粒子
可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整

技術(shù)參數(shù)

尺寸		DN 250 (10")
驅(qū)動器		帶有伺服驅(qū)動器的集成壓力控制器
閥體材料		鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁
饋通件		旋轉(zhuǎn)饋通件
標(biāo)準(zhǔn)法蘭		ISO-F, JIS
泄漏率閥體	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1
泄漏率閥座	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1
壓力范圍	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強)
維護前開關(guān)次數(shù)1)	壓力控制關(guān)閉/打開	200萬次 5萬次
溫度	閥體控制器	≤ 120 °C 最大 50℃（建議 ≤35℃）
材料	閥體、閥板	EN AW-6061 (3.2311) T651
	其他部件	AISI 316L (1.4404, 1.4435)
	閥板上的連接螺釘	SST A4-80、Ni-PTFE、涂層
密封	閥蓋、閥板、閥體、饋通件	氟橡膠
安裝位置		任何位置

瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列


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瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列

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