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详细介绍
日立台式电镜TM3030Plus
二手SEM日立TM3030plus产品介绍：
TM3030Plus是日立台式电镜TM系列的成员，它继承了日立台式电镜品质。TM3030Plus在TM3030基础上增加高灵敏度低真空二次电子探头UVD，该探头在低真空环境下具有很好的成像质量，而且无需样品前处理，放大倍数可达6万倍，数字放大可达24万倍。
主要参数：
1.放大倍率：×15～60,000
2.设定观察条件：5KV/15KV/EDX
3.观察模式：导体模式、标准模式、减电荷模式
4.检测器：高灵敏度半导体四分割BSE探测器、低真空二次电子探测器
5.电子枪：预对中灯丝
二手SEM日立TM3030plus应用领域：
生命科学
材料科学
化学
电子制造
食品工业
方案优势
低加速电压成像在扫描电镜成像中有着重要的作用。采用低加速电压成像，低能电子束受到散射的扩散区域小，相互作用区接近表面，有利于表面精细形貌成像。对于某些热敏或导电性能差的样品，如半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，有时不允许进行导电处理，而要求直接观察，采用低加速电压成像可以减小或消除此类样品的荷电效应同时减小电子束辐照损伤。下图为氧化锌样品在5KV 和15KV 下的图像对比，由图像可知，在5KV 低加速电压下，样品表面细节特征清晰，有利于表面精细形貌的观察。
带有SwiftED3000的TM3000/TM3030的典型配置
*内置EDX探测器
特点
硼以上轻元素检测。
可进行线扫描，面分布图以及多点分析。
无需液氮?？稍诩阜种幽诳焖伲崴煞治?。
可在同一显示器上显示图像和元素数据。
规格
项目 | 说明 |
| 探测器类型 | 硅飘移探测器（SDD） |
| 能量分辨率 | 154电子伏特（Cu-Kα） （相当于135电子伏特的Mn-Kα） |
| 探测元素范围 | B5 - Am95 |
| 定性分析 | 自动识别和手动峰值识别 |
| 定量分析 | 无标样定量分析 |
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