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Parylene派瑞林真空鍍膜機Serie 3000 Standard專為工業(yè)級應用設計，是一款經過全面驗證的成熟設備，能夠滿足大規(guī)模及高要求的生產任務。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
作為標準配置機型，其包含 2000 系列（無等離子體功能）與 3000 系列（支持等離子體處理）兩大產品線。模塊化結構設計與可調節(jié)腔室尺寸的特性，使該經過嚴格驗證的生產設備在生產與涂層工藝中獨ju特色。該系統(tǒng)專為工業(yè)級應用環(huán)境開發(fā)；通過擴展腔體容量可有效滿足大規(guī)模及高要求的生產任務。
Parylene派瑞林真空鍍膜機Serie 3000 Standard：
| 尺寸 | L:2095mm W:800mm H:1450mm |
| 重量 | 300kg |
| 腔體容量 | 140/200/300/600/750/800/1000 L |
| 工藝腔體 | 500mm ?，H: 700mm (140 L) 600mm ?，H: 700mm (200 L) 700mm ?，H: 800mm (300 L) |
| 等離子源 | 2.45GHz, 1200 W |
| 氣路 | 1 路氣體通道（內置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)），最多可擴展至 3 路氣體通道。 |
| 冷卻系統(tǒng) | 8L（機電式冷阱） |
| 真空連接 | DIN 40 ISO-KF |
| 排氣 | 電磁式排氣閥 |
| 真空泵 | 75m3/h |
| 電氣連接 | 三相五線制，交流 50 Hz，電壓 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
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