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ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)
  • ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)

貨物所在地:國外

地: 德國

更新時(shí)間:2025-01-28 21:00:07

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ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng):Alpha等離子系統(tǒng)ASTRO96是一款低壓微波等離子系統(tǒng),用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的*進(jìn)芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。ASTRO96是全自動(dòng)等離子系統(tǒng),待處理的基片通過片匣緩存區(qū)載入,清洗完成后放回同一個(gè)片匣緩存區(qū)。

微波等離子清洗

ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)概述:Astro96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng):Alpha等離子系統(tǒng)Astro96是一款低壓微波等離子系統(tǒng),用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的*進(jìn)芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。Astro96是全自動(dòng)等離子系統(tǒng),待處理的基片通過magzine Buffer載入,清洗完成后放回同一個(gè)Magzine Buffer。

ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

  • 腔體:鋁
  • 容積:16.6公升
  • 尺寸:寬度330毫米×深度420毫米x120毫米
  • 腔室門:腔體下開門結(jié)構(gòu)
  • 微波源:2.45GHz,可調(diào)50-600W
  • 氣體進(jìn)氣:3路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制,氣體分布系統(tǒng)位于工藝腔體內(nèi)部
  • 觀察視窗:52.5mm玻璃,防紫外和RF
  • 真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
  • 真空系統(tǒng):DN 40 ISO-KF
  • 真空閥:電動(dòng)氣動(dòng)閥
  • 設(shè)備尺寸:1635毫米x1405毫米x2265毫米

片匣導(dǎo)軌傳送系統(tǒng):

  • 全自動(dòng),無堵賽設(shè)計(jì),集成到等離子主系統(tǒng)
  • 片匣通過2層傳送帶上下載片,提前上載或下載片
  • 通過使用可更換的輸送板,搬運(yùn)系統(tǒng)可以支持較大范圍的基片尺寸、框架、舟等
  • 片匣尺寸:zui大124mm寬,60-200mm高,110-320mm長,配套片匣傳感器來識別
  • 框架進(jìn)/出:框架在同一個(gè)片匣和同一個(gè)槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出(標(biāo)準(zhǔn)配置)
  • 框架進(jìn)/出:框架在不同的片匣和相同/不同的槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出(可選)
  • 堵塞檢測系統(tǒng)帶有可調(diào)節(jié)的推/拉力控制,并通過軟件實(shí)現(xiàn)具體的堵塞水平控制,以避免框架損壞
  • 支持手動(dòng)模式,單次工序
  • UPH(框架/小時(shí)):360~900,取決于框架尺寸和等離子工藝

系統(tǒng)控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  • 19"觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息,處理數(shù)據(jù)輸出
  • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
  • 自動(dòng)或手動(dòng)操作

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