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 1、簡介 
干涉顯微鏡自上世紀(jì)至今一直是非接觸測量高等級表面粗糙度的主要儀器。上海光機(jī)廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國內(nèi)市場上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來的垂直掃描干涉顯微鏡近年來得到廣泛的應(yīng)用。如美國VEECO公司的Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀，Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學(xué)輪廓儀等。國內(nèi)市場幾乎被國外公司壟斷。 
2、主要特點(diǎn) 
WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測量儀在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。 
1） 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評定功能。 
2） 可通過單幅圖像原理，獲取二維參數(shù)及曲線。 
3） 垂直掃描由自主設(shè)計(jì)的反鏡式垂直掃描工作臺完成，具有粗、精兩級，其垂直位移量由衍射光柵干涉計(jì)量，工作臺具有大量程高精度特征。 
4 ）可以用兩種方法測量表面三維參數(shù)及圖形： 
（1）對峰谷高度小于 的表面，可采用相移法測量，其分辨率小于1nm 
（2）對峰谷高度大于 的表面，可采用垂直位移掃描測量，其分辨率約為3nm，zui大測量峰谷高度可達(dá)40um。 
5） 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測量。測量分辨率達(dá)5nm。 
6）由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡，調(diào)試與6JA大部分相同，熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。 
3、技術(shù)指標(biāo) 
垂直測量范圍 0～50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65 
垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍 
測量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm? 
光學(xué)分辨率 0.5 CCD有效像素　　 752X582 
表面反射率 0.3％～100％ 
測量時間 二維：1～5秒 
三維：15～30秒 
注： 顯微鏡為基本配置，若需擴(kuò)大視場或提高光學(xué)分辨率，可配置相應(yīng)的顯微鏡，但需特殊訂貨。 
4、儀器構(gòu)成 
1、寬帶光干涉儀（改進(jìn)的6JA干涉顯微鏡） 
2、垂直位移掃描工作臺 
3、攝像及圖像處理系統(tǒng) 
4、工控機(jī) 
5、用途 
主要用來測量二、三維表面粗糙度、臺階、溝槽高度和表面輪廓尺寸，適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測量，工程表面的科學(xué)研究，以及中高等學(xué)校“互換性與測量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測量技術(shù)”、“機(jī)械制造工藝”等課程的實(shí)驗(yàn)