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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 石英/硅/聚合物模板-高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）
技術(shù)參數(shù)：
Delivery of nanoimprint templates in various materials （Si, SiNx, SiC, quartz,glass）.Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm.
提供各種材料的納米壓印模板（硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃）。模板zui大尺寸：4英寸，特征尺寸為100nm。對(duì)于更小的尺寸，zui小的特征尺寸可以達(dá)到50nm。
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Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.
提供zui低30nm特征尺寸的各種結(jié)構(gòu)的電子束刻蝕服務(wù)?；澹喝魏螌?dǎo)電或者非導(dǎo)電晶片。
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Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers.
各種納米結(jié)構(gòu)（硅，III-V族元素，II-VI族元素以及聚合物）的微納米加工。
主要特點(diǎn)：
soft mold for thermal nanoimprint 熱壓印的軟模板
quartz mold for UV nanoimprint 紫外壓印的石英模板
silicon mold for thermal nanoimprint 熱壓印的硅模板
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