国产日产欧美精品-亚洲国产综合久久精品-色综合色国产热无码一-亚洲欧美日本国产,免费观看一区二区三区_在线观看片A免费不卡观看_亚洲а∨天堂久久精品_99久无码中文字幕一本久道

上海納騰儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第4年

13501903943

當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> D-600-Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀

D-600-Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀
  • D-600-Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-04-07 21:00:08

瀏覽次數(shù):77

在線詢價(jià)收藏商機(jī)

( 聯(lián)系我們,請(qǐng)說(shuō)明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)

KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600,帶有電動(dòng)載物臺(tái)。可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀D-600 包括一個(gè) 200 毫米電動(dòng)載物臺(tái),具有 150 x 178 毫米 X-Y 運(yùn)動(dòng)范圍。 新的測(cè)序軟件具有手動(dòng)糾偏對(duì)齊和對(duì)樣本多達(dá) 1000 個(gè)位置的編程功能。 該系統(tǒng)具有先進(jìn)的光學(xué)元件、具有 4 倍數(shù)碼變焦的高分辨率 500萬(wàn)像素相機(jī)和增強(qiáng)的視頻控制功能,可實(shí)現(xiàn)高度通用的樣品可視化。

一、功能

設(shè)備特點(diǎn)

電動(dòng)載物臺(tái)

臺(tái)階高度:幾納米至1200μm

低觸力:0.03至15mg

視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

緊湊尺寸:小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

軟件:用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

紋理:2D粗糙度和波紋度

形式:2D翹曲和形狀

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

SIMS:二次離子質(zhì)譜

LED:發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設(shè)備

二、應(yīng)用

臺(tái)階高度

Alpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。


8c8c55c66f42779563b551a42d34cf2e.png

3D 掃描和 2D 應(yīng)力(可選配功能)

Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀3D 掃描產(chǎn)生照片般逼真的表面,可對(duì)臺(tái)階高度、紋理和樣品形狀進(jìn)行詳細(xì)的表面形貌分析。 2D 應(yīng)力利用 Stoney 方程和樣品弓在處理前后的變化來(lái)計(jì)算薄膜應(yīng)力。

復(fù)雜表面的3D掃描

紋理:粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

外形:翹曲和形狀

Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

e0fe8294076ff485339acddbfb75225b.jpg

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。

d097f6c2b7e4f07f232aa5d10bdba402.jpg







會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言
开江县| 冷水江市| 阿图什市| 张家界市| 县级市| 佛教| 贵州省| 莎车县| 利津县| 万安县| 乐昌市| 宣武区| 拉萨市| 滦平县| 沧州市| 台中市| 同德县| 红桥区| 麟游县| 监利县| 怀集县| 公主岭市| 密山市| 灵石县| 巴塘县| 高碑店市| 鲁山县| 宁武县| 昌平区| 扶余县| 安乡县| 六枝特区| 六安市| 泰宁县| 咸宁市| 虎林市| 岳池县| 视频| 中山市| 射阳县| 桃园市|