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當前位置：> 供求商機> Photomask Blanks缺陷檢查 LODAS™ – BI8
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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2025-03-27 21:00:22
有效期：2025年3月27日 -- 2025年9月27日
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特征：
可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。
免維護。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規(guī)格：
檢查激光：405nm 200mW LaserDiode
檢查時間：180sec
檢查對象：6英寸 Photomask blanks
設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm
使用電源：AC100V~200V 10A
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