日本MITUTOYO小型?高精度扫描探针 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度扫描探针 SP25M

1. 微型化结构设计

SP25M采用革命性的三级减震架构：（1）陶瓷基座内置空气阻尼器，衰减环境振动达90%；（2）钛合金探针臂重量仅0.8g，较传统钢制结构减轻65%；（3）纳米级预紧力调节机构，通过0.01N·m扭矩螺丝实现测针夹持微调。这种设计使探头整体尺寸控制在Φ3.2×15mm，为目前同精度等级最小体积。

2. 纳米级测量系统

核心测量模块包含：

• 光学编码器：采用衍射光栅技术，分辨率达0.5nm

• 电容式位移传感器：带宽1kHz，响应时间<0.5ms

• 温度补偿单元：内置4个PT100传感器，实时修正热变形误差

测试数据显示，在ISO Class 4洁净环境下，对硅晶圆标准片进行100次重复测量，Z轴标准偏差仅为1.2nm（依据ISO 4287标准）。

3. 工业应用验证

在丰田汽车喷油嘴检测项目中：

• 测量对象：Φ0.12mm微孔内壁粗糙度

• 对比设备：传统接触式轮廓仪

• SP25M优势：

• 测量时间缩短40%（单孔3分钟→1.8分钟）

• 数据完整性提升（可获取传统设备无法触及的底部30%区域）

• 划伤率降至0.1%以下

4. 系统集成方案

通过标准化接口（符合ISO 9409-1）可快速对接：

• 三丰CV-3200轮廓仪（需选配MNT-20适配器）

• 蔡司O-INSPECT多传感器测量机

• 基恩士VHX-6000数字显微镜

典型配置包含：

SP25M探头本体 ×1 R0.1μm金刚石测针 ×3 校准证书（JIS B 7506） ×1 防震运输箱（IP67） ×1

5. 维护保养规范

• 日常维护：每周用超纯乙醇清洁测针接触面

• 周期校准：建议每500小时或温度变化>5℃时进行

• 寿命指标：

• 测针：50万次接触（R0.1μm规格）

• 传感器：≥3年（基于加速老化试验）