日本MITUTOYO低测量力扫描探针 MPP-310Q

日本MITUTOYO低测量力扫描探针 MPP-310Q

一、核心技术原理

MPP-310Q采用三丰的"双模态力反馈系统"，通过微型电磁驱动器和应变片传感器的协同工作，实现0.5-10mN连续可调的动态测量力控制。探针内部集成32位MCU处理器，每秒钟可进行2000次力值采样与调整，确保接触压力波动范围不超过设定值的±3%。特殊设计的钛合金悬臂梁结构，在保持0.3N/mm刚度的同时，将系统固有频率提升至850Hz，有效抑制测量振动干扰。

二、关键性能参数

• 测量力范围：0.5/1/3/5/10mN五档可调

• 测球规格：标配φ0.3mm红宝石球（可选φ0.1mm金刚石球）

• 重复精度：±0.05μm（1mN测量力条件下）

• 温度稳定性：±0.008μm/℃（20-23℃恒温环境）

• 最大扫描速度：2mm/s（10mN测量力时）

• 接口标准：ISO 10360-7兼容

三、典型应用场景

1. 光学元件测量：针对AR眼镜衍射光栅的纳米级沟槽结构，探针的φ0.1mm可选测球可深入15μm宽的沟槽进行剖面扫描，配合1mN测量力确保光栅表面无划痕。

2. 柔性电子检测：在OLED柔性基板测量中，探针的3mN测量力模式可穿透表面保护膜层（约20μm厚）进行真实形貌测量，同时避免底层ITO电路的损伤。

四、操作规范要点

1. 测力选择原则：建议初始设置为材料弹性模量的0.1%-0.3%，如硅胶件（1MPa）选用0.5mN，PEEK工程塑料（3GPa）选用3mN。

2. 校准周期：每200工作小时或环境温度变化超过5℃时需进行动态力校准，使用标配的MCL-05校准件完成三点校准流程。

3. 维护注意事项：避免测球与碳化钨等硬质材料直接碰撞，清洁时应使用专用无尘棉签蘸取99%纯度酒精单向擦拭。

五、技术对比优势

相较于常规探针，MPP-310Q在测量软质材料时可将压痕深度减少80%。实测数据显示，在测量邵氏硬度A50的硅橡胶时，传统5mN探针会产生12μm的压痕，而本产品在1mN模式下压痕仅2.5μm，同时保证测量重复性优于±0.8μm。其主动温度补偿系统比被动补偿探针的漂移量降低60%，在8小时连续工作中Z轴漂移不超过15nm。