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HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器

參考價 18500
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家專業(yè)的科學(xué)儀器供應(yīng)商,主要從事高校、科研院所、生物醫(yī)藥等生命科學(xué)領(lǐng)域?qū)嶒炇耶a(chǎn)品的銷售和技術(shù)服務(wù)。我公司致力于提供高品質(zhì)的科學(xué)儀器、耗材,為客戶提供整體解決方案,通過專業(yè)、細(xì)致以及全面的技術(shù)服務(wù),實現(xiàn)“為客戶提供更多價值”的承諾。公司成立以來一直與國內(nèi)外廠商保持密切聯(lián)系,不斷引進(jìn)各種優(yōu)質(zhì)的科學(xué)儀器產(chǎn)品。公司一直以“打造優(yōu)質(zhì)品牌、服務(wù)科學(xué)領(lǐng)域”的產(chǎn)品理念與社會宗旨,積極推動祖國科研事業(yè)發(fā)展。


“超微量分光光度計,菌落計數(shù)儀,移液器,紫外輻照儀,紫外交聯(lián)儀,熒光蛋白激發(fā)光源,紫外燈”

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 1萬-3萬 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,綜合

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列,專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計。其具備多氣體、多量程配置功能,支持 DeviceNet 通信協(xié)議,適配各種工業(yè)自動化控制系統(tǒng)。

主要特點

  • 多氣體/多量程配置:支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍(例如3 SLM、5 SLM、10 SLM)。

  • 高精度控制:在全量程范圍內(nèi)提供 ±1% 設(shè)定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度。

  • 快速響應(yīng):<1 秒的響應(yīng)時間,有效提高工藝控制效率。

  • 金屬密封結(jié)構(gòu):全不銹鋼氣體接觸部分,適用于超高純應(yīng)用。

  • 靈活通信接口:內(nèi)建 DeviceNet 通訊,部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®。

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,安裝靈活:C-Seal 安裝接口,適配各類設(shè)備集成。

技術(shù)參數(shù)

  • 支持的流量范圍為多種滿量程配置,常見有 3 SLM、5 SLM、10 SLM,可根據(jù)客戶需求定制。

  • 支持的氣體類型包括氮氣(N?)、氧氣(O?)、氬氣(Ar)、硅烷(SiH?)等,具備多氣體切換功能。

  • 控制精度為 ±1.0% 設(shè)定值(S.P.)或 ±0.25% 滿量程(F.S.),兩者取其較大值。

  • 響應(yīng)時間小于等于 1 秒,可滿足高動態(tài)響應(yīng)需求。

  • 采用壓電陶瓷控制閥,常閉型(Normally Closed),具備較高的穩(wěn)定性和安全性。

  • 氣體接觸材質(zhì)為 SUS316L 不銹鋼,接口為 C-Seal 全金屬密封,適用于高純氣體控制。

  • 內(nèi)置DeviceNet™ 通信接口,符合 ODVA 標(biāo)準(zhǔn),部分型號支持模擬信號或 EtherCAT® 接口,便于集成。

  • 電源要求為 DC 24V,最大功耗為約 4 VA。

  • 推薦的工作環(huán)境為溫度 5~40℃,環(huán)境應(yīng)潔凈干燥以確??刂凭群蛪勖?/p>

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體光刻/刻蝕/沉積氣體控制

  • 精細(xì)化工過程流量管理

  • 光電器件生產(chǎn)

  • 實驗室高純氣體流量監(jiān)測與控制




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