S48-32/HMT 熱式質量流量控制器
參考價 | ¥ 4550 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 曦源科學儀器(上海)有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 S48-32/HMT
- 產地 北京
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/5/22 15:20:30
- 訪問次數 50
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
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價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 化工,生物產業(yè),電子/電池,汽車及零部件,綜合 |
HORIBA S48-32/HMT 熱式質量流量控制器(MFC)
產品簡介
HORIBA S48-32/HMT 是一款廣泛應用于半導體、光伏、LED、LCD 等行業(yè)的高精度熱式質量流量控制器。該產品采用熱式傳感原理和先進的數字控制算法,具備快速響應、高精度控制和多種信號接口等特點,是工藝氣體輸送與控制系統(tǒng)中重要的核心設備之一。
產品特點
熱式質量流量計測量原理,適合高純氣體及腐蝕性氣體的精確控制
快速響應時間:小于1秒,顯著提升工藝反應速度
高精度控制:保證±1.0% S.P. 或 ±0.3% F.S. 精度,滿足苛刻工藝要求
多種通信協(xié)議可選:支持模擬信號(0–5V、4–20mA)與數字通信(RS-485、PROFIBUS 等)
金屬封裝結構:主體采用316L不銹鋼材質,兼具氣密性和耐腐蝕性
安裝靈活:支持水平或垂直安裝,適用于多種空間限制場景
全自動化兼容:可輕松集成進現有PLC、DCS或半導體設備控制系統(tǒng)
技術參數
測量原理:熱式質量流量計(Thermal Mass Flow Meter)
控制方式:基于可變 PID 的閉環(huán)控制
流量范圍:10 SCCM ~ 50 SLM(具體范圍需根據氣體類型和設定選擇)
適用氣體:氮氣(N?)、氬氣(Ar)、氧氣(O?)、氫氣(H?)、四氟化碳(CF?)、三氟化氮(NF?)、六氟化硫(SF?)、硅烷(SiH?)、磷烷(PH?)等多種腐蝕性和非腐蝕性工藝氣體
精度范圍:
當設定值大于 30% 滿量程時:±1.0% of Set Point
當設定值小于或等于 30% 滿量程時:±0.3% of Full Scale
響應時間:小于 1 秒
通信接口:
模擬信號:0–5V、0–10V、4–20mA(電壓或電流型可選)
數字通信:RS-485(F-NET 協(xié)議)、PROFIBUS 等
電源需求:
模擬型:±15V DC
數字型:24V DC
環(huán)境溫度:工作溫度范圍 5°C ~ 50°C
外形尺寸:約 81.8 毫米(寬) × 30.5 毫米(厚) × 126 毫米(高)
重量:約 1.2 公斤
材質:316L 不銹鋼 + 金屬密封結構
安裝方式:支持面板式或機架式安裝
認證標準:CE、RoHS 等(根據型號確定)
應用領域
半導體制造設備中的氣體注入系統(tǒng)(Etching、CVD、ALD)
光伏電池組件的氣體控制系統(tǒng)
OLED/LCD 面板制造工藝流程
精密氣氛控制實驗裝置
等離子體工藝中的高純氣體調節(jié)
化工與材料科學研究領域的過程控制
型號說明
HORIBA S48 系列包括多個子型號,典型型號如下:
S48-32/HMT:標準型,支持模擬和數字通信接口,適配通用工業(yè)或半導體設備
S48-28/HMT:流量范圍或接口特性有所不同,需確認具體選型參數