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化工儀器網>產品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質量流量計>S48-32/HMT 熱式質量流量控制器

S48-32/HMT 熱式質量流量控制器

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曦源科學儀器(上海)有限公司是一家專業(yè)的科學儀器供應商,主要從事高校、科研院所、生物醫(yī)藥等生命科學領域實驗室產品的銷售和技術服務。我公司致力于提供高品質的科學儀器、耗材,為客戶提供整體解決方案,通過專業(yè)、細致以及全面的技術服務,實現“為客戶提供更多價值”的承諾。公司成立以來一直與國內外廠商保持密切聯系,不斷引進各種優(yōu)質的科學儀器產品。公司一直以“打造優(yōu)質品牌、服務科學領域”的產品理念與社會宗旨,積極推動祖國科研事業(yè)發(fā)展。


“超微量分光光度計,菌落計數儀,移液器,紫外輻照儀,紫外交聯儀,熒光蛋白激發(fā)光源,紫外燈”

產地類別 國產 產品種類 質量式
價格區(qū)間 1-5千 介質分類 氣體
應用領域 化工,生物產業(yè),電子/電池,汽車及零部件,綜合

HORIBA S48-32/HMT 熱式質量流量控制器(MFC)

產品簡介

HORIBA S48-32/HMT 是一款廣泛應用于半導體、光伏、LED、LCD 等行業(yè)的高精度熱式質量流量控制器。該產品采用熱式傳感原理和先進的數字控制算法,具備快速響應、高精度控制和多種信號接口等特點,是工藝氣體輸送與控制系統(tǒng)中重要的核心設備之一。

產品特點

  • 熱式質量流量計測量原理,適合高純氣體及腐蝕性氣體的精確控制

  • 快速響應時間:小于1秒,顯著提升工藝反應速度

  • 高精度控制:保證±1.0% S.P. 或 ±0.3% F.S. 精度,滿足苛刻工藝要求

  • 多種通信協(xié)議可選:支持模擬信號(0–5V、4–20mA)與數字通信(RS-485、PROFIBUS 等)

  • 金屬封裝結構:主體采用316L不銹鋼材質,兼具氣密性和耐腐蝕性

  • 安裝靈活:支持水平或垂直安裝,適用于多種空間限制場景

  • 全自動化兼容:可輕松集成進現有PLC、DCS或半導體設備控制系統(tǒng)

技術參數

  • 測量原理:熱式質量流量計(Thermal Mass Flow Meter)

  • 控制方式:基于可變 PID 的閉環(huán)控制

  • 流量范圍:10 SCCM ~ 50 SLM(具體范圍需根據氣體類型和設定選擇)

  • 適用氣體:氮氣(N?)、氬氣(Ar)、氧氣(O?)、氫氣(H?)、四氟化碳(CF?)、三氟化氮(NF?)、六氟化硫(SF?)、硅烷(SiH?)、磷烷(PH?)等多種腐蝕性和非腐蝕性工藝氣體

  • 精度范圍:

    • 當設定值大于 30% 滿量程時:±1.0% of Set Point

    • 當設定值小于或等于 30% 滿量程時:±0.3% of Full Scale

  • 響應時間:小于 1 秒

  • 通信接口:

    • 模擬信號:0–5V、0–10V、4–20mA(電壓或電流型可選)

    • 數字通信:RS-485(F-NET 協(xié)議)、PROFIBUS 等

  • 電源需求:

    • 模擬型:±15V DC

    • 數字型:24V DC

  • 環(huán)境溫度:工作溫度范圍 5°C ~ 50°C

  • 外形尺寸:約 81.8 毫米(寬) × 30.5 毫米(厚) × 126 毫米(高)

  • 重量:約 1.2 公斤

  • 材質:316L 不銹鋼 + 金屬密封結構

  • 安裝方式:支持面板式或機架式安裝

  • 認證標準:CE、RoHS 等(根據型號確定)

應用領域

  • 半導體制造設備中的氣體注入系統(tǒng)(Etching、CVD、ALD)

  • 光伏電池組件的氣體控制系統(tǒng)

  • OLED/LCD 面板制造工藝流程

  • 精密氣氛控制實驗裝置

  • 等離子體工藝中的高純氣體調節(jié)

  • 化工與材料科學研究領域的過程控制

型號說明

HORIBA S48 系列包括多個子型號,典型型號如下:

  • S48-32/HMT:標準型,支持模擬和數字通信接口,適配通用工業(yè)或半導體設備

  • S48-28/HMT:流量范圍或接口特性有所不同,需確認具體選型參數




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