KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪以市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的优秀测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。

特征

• 台阶高度：纳米级到1000微米

• 恒定力控制：0.03至15mg

• 样品的全直径扫描，无需拼接

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 软件：简单易用的软件界面

• 生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

应用

• 台阶高度：2D和3D台阶高度

• 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

• 形状：2D和3D翘曲、形状

• 应力：2D和3D薄膜应力

• 缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌

  
  

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工业

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能

• MEMS：微机电系统

• 数据存储

• 汽车

• 医疗器械