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化工仪器网>产品展厅>实验室常用设备>其它实验室常用设备>镀膜机>CY-MSZ180-I-DC-Q 下置四靶磁控溅射镀膜仪

CY-MSZ180-I-DC-Q 下置四靶磁控溅射镀膜仪

参考价 80000
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。

郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;

其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。

近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。

如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务洽谈。

 

管式炉,气氛炉,马弗炉,等离子磁控溅镀膜仪,等离子清洗机,切断机,抛光机

产地类别 国产 价格区间 1-5万
应用领域 地矿,能源,建材/家具,电子/电池,钢铁/金属

简单介绍:

四靶磁控溅射镀膜仪可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜。

详情介绍:

我公司研发的配有两个靶位的实验室专用镀膜仪,设备配有两台直流电源,两台射频电源,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。

磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层,水冷机能够有效的带走热量,避免热量在靶面聚集,使磁控镀膜能长时间稳定工作。

下置四靶磁控溅射镀膜仪采用靶下置布局,样品台在上方,与靶面高度可通过程序**可调,并且可旋转加热,性能优异。

技术参数:

产品名称

下置四靶磁控溅射镀膜仪

产品型号

CY-MSH500X-Ⅳ-DCDCRFRF-SS

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

6KW

极限真空度

5x10-4Pa

样品台

尺寸

150mm

高度

上下70mm**可调

加热温度

≤850℃

转速

1-20rpm

磁控溅射头参数

数量

4个2”磁控溅射头

冷却方式

水冷,所需流速10L/min

水冷机规格

10L/min流速的循环水冷机

真空腔体

腔体尺寸

φ500mm X550mm H

腔体材料

不锈钢

观察窗口

φ100mm

开启方式

前开门式

气体流量控制器

1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM  Ar;

真空泵

配有一套分子泵系统,抽速1200L/S

膜厚仪

石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 ?

溅射电源

直流电源2台,500W,适用于制备金属膜

射频电源2台,500W,适用于非金属镀膜

操作方式

CYKY自研专业级控制系统

整机尺寸

1250mm X 1000mm X2000mm

整机重量

500kg




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