CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS 三靶向上磁控溅射镀膜仪
参考价 | ¥ 250000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS
- 产地 郑州
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/3 16:04:11
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 10万-30万 |
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应用领域 | 能源,电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气 | 真空腔体 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
样品台尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶,可调角度 |
靶材尺寸 | 直径2英寸,厚度≦3mm, | 溅射功率 | 500W |
三靶向上磁控溅射镀膜仪是我公司自主研发的高性价比磁控溅镀设备,具有标准化、??榛⒍ㄖ苹奶氐?。该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介电薄膜、光学薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,三种靶材可以满足多层或多层涂层的需要。与同类设备相比,三靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,而且具有体积小、操作方便等优点。它是实验室制备材料薄膜的理想设备.
三靶向上磁控溅射镀膜仪技术参数:
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH325X-DCDCRF-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 6KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 外形尺寸 | φ150mm |
加热温度 | ≦750℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷却模式 | 循环水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
靶枪数量 | 3 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm,高度600mm |
腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
开启方式 | 前面开启 | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
真空系统 | 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 ? | |
溅射电源 | 直流电源功率500W*2,射频电源功率300W | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
真空计 | 电阻规真空计 | |
设备尺寸 | 1090mm×900mm×1250mm | |
设备重量 | 350kg |