特点

可对粉体材料进行表面包覆:采用磁控溅射，溅射时粉体材料在腔体内翻滚，达到粉体表面均匀包覆;

可抽真空、通气氛

基本参数

电源

AC220V  50HZ

功率

<1500W

射频电源

输入电源

220V  3A

输出功率

0-300W

输出频率

13.56 HZ

冷却方式

设备内部的冷却方式为风冷

尺寸

444(长)*410(宽)*128(高)

磁控溅射头

2英寸磁控溅射头(带有水冷夹层)，采用快速接头与真空腔体相连接；

靶材尺寸

φ50*(≦3mm)mm厚

2英寸磁控溅射头

射频功率300w

2英寸磁控溅射头

直流功率500W

溅射腔室

溅射腔室为石英玻璃材质的异形连熔炉管，尺寸：（Ф 100+Ф 150+Ф 100）×800 (mm)；

腔室可旋转，转速1-10rpm可调，速度通过前面板上的调速器调节，显示屏显示转速

腔体两端采用磁流体法兰与不锈钢密封法兰通过快速连接的方式进行密封，法兰两端安装有支撑架支撑磁流体法兰。卸料时拆掉两端磁流体法兰，将炉体倾斜（由前面板的旋钮控制），即可快速出料。

左端法兰上安装了一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，一个不锈钢针阀控制进气的通断，一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力;一个φ19mm的通孔用于通入溅射靶头到腔室内部

右端法兰上的一个φ8m的宝塔嘴接头作为出气口使用，一个不锈钢针阀控制出气的通断，一个KF25的接头与真空系统相连，一个KF16的接口作为备用接口，可选配安装数显真空计;

右端法兰在腔体内的位置安装了一个石英档板，档板上安装了四个不锈钢挡条用于搅拌打散物料，使其能充分溅射。

腔体顶部安装了一个防护置，以屏蔽等离子体，防护置顶部有一个长宽为240m的石英观察商口，可以观察物料溅射情况.

加热系统

在旋转石英溅射腔体外部,包覆有一层加热装置,可以实现对旋转腔体的加热。

加热系统通过 PID 温控仪表实现程序控温。

腔室气密性允许的*高加热温度为 200℃;但加热系统可设置温度不受此限制，在超过200℃下运行导致的部件损坏不由厂家承担责任。

控温精度:±1°C

真空系统

无油涡旋真空泵;型号::CY-GWSP600，参数如下：

排气速度:8.71/s;31.3m3 /h

极限真空度:1Pa

噪音值:三6ldB(A)

漏率(排气口和气镇阀关):1*10-8Pa·m 3/s

*大进/排气压力:0.1/0.13MPa

工作环境温度:5~40C

冷却方式：风冷

进/排气口尺寸：KF40/KF16

单相电机:

功率 0.75kW;

电压:～115V(50Hz/60Hz)；200～230V50Hz/60Hz),两种电压选择；

转速：1425(50Hz)，1725(60Hz) rpm；

接头形式：国标、北美、欧洲、英国/爱尔兰、印度

三相电机：

功率：0.75kW;

电压：200～230 和 380～415(50Hz)；或 200～230 和 460(60Hz)V

转速:1425(50Hz)，1725(60Hz) rpm

水冷设备

型号:KJ-5000

工作电流:1.4-2.1A

制冷量:2361Btu/h

尺寸: 55X28X43cm(长X宽X高)

水箱容量:6L

水流速率:16L/min

设备外形尺寸

1500mm(L)*1000mm(W)*1500mm(H) 防护罩打开时的尺寸

重量

约100kg