CY-EBH500-SS 三源高真空热蒸发镀膜仪
参考价 | ¥ 60000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-EBH500-SS
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/21 9:27:09
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
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应用领域 | 文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
简单介绍:
三源高真空热蒸发镀膜仪应用于金属和介电膜,薄膜传感器的制造,光学元件,纳米与微电子,太阳能电池。
详情介绍:
设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、水冷,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、?;炔僮鳌?/span>
详情介绍:
本设备的蒸发源共三组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,温度可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀,三组独立热蒸发源,不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善,是实验室高精度蒸发镀膜试验之选。
应用领域:
金属和介电膜,薄膜传感器的制造,光学元件,纳米与微电子,太阳能电池。
技术参数:
产品名称 | 三源高真空热蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
样品台 | 尺寸 | *大支持φ150mm样品 |
功能 | 可旋转,冷却 | |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x3 |
电源 | 每个蒸发源配一组独立电源;三个蒸发源共三组独立电源 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300x400mm |
观察窗口 | 前置φ100mm | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制(选配) | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | ISO160 | |
真空测量 | 电阻+电离,复合真空规 | |
排气速率 | 机械泵1.1L/s,分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
控制系统 | PLC自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 (触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入;用户友好 PLC 软件系统,可以通过网络更新) | |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 1200mm X 900mm X 1650mm | |
整机功率 | 5kW | |
整机重量 | 500kg |