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Automotive Lamp Reflector 薄膜沉积镀膜系统

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

本装置是为了在汽车用HEAD LAMP部分提高AL的附着性,用Plasma,AL Sputter,CVD法实施SIO2 TOP Coating的设备,是缩短生产时间,前工序和*的MATCHING设备.

这款优良的汽车头灯制造设备集多种前沿技术于一体,专门用于提高铝制零件的附着力。它采用等离子体处理、溅射沉积和化学气相沉积等方法,在头灯外壳表面沉积高性能的二氧化硅保护层,大大增强了涂层和基材之间的结合力。

这种制造工艺不仅缩短了生产周期,而且可以大幅提高产品的一致性和可靠性。相比传统的手工或半自动化流程,这套设备实现了更智能、更高效的"一站式"生产,各个工序之间实现了匹配,大幅提升了整体生产效率。

得益于优良的plcma预处理和精密的薄膜沉积控制,这台设备可以在头灯外壳表面沉积出均匀致密的SiO2?;げ?不仅能有效防护铝合金零件免受氧化腐蚀,还能显著改善表面光学性能,增强头灯的美观度和光亮度。这一创新工艺为汽车制造商提供了一种全新的解决方案,不仅能大幅提高产品质量,也能提升整体生产效率,在竞争激烈的市场中占得先机。

设备结构Atuo Inline Type 5 Chamber
到达真空3 x 10-6 Torr
排气结构D/P + Poly Cold + MBP + RP
产品驱动滚轮驱动
Coating 材料AL, Cr, SUS, Ni, Cu
Cycle Time1~2 min






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