精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,綜合 |
|---|
產(chǎn)品簡介
Z軸采用伺服電機驅(qū)動，精密滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋，行程50mm，大尺寸楔形平升結(jié)構，作為底軸實現(xiàn)精密定位，電機含斷電抱閘功能。
XY軸均采用雙直線電機驅(qū)動，防蠕動交叉滾柱導軌及光柵尺閉環(huán)反饋，行程210×210mm，安裝Z軸上；此外，XY可定制抱閘功能。
AB軸采用力矩電機驅(qū)動，精密軸環(huán)導向及光柵尺閉環(huán)反饋，同步軸向和徑向跳動誤差優(yōu)于1μm，安裝到XY軸上，ZXYAB軸依次疊加的方式，終端負載10kg。
需要安裝到大理石基座上使用，如使用光學面包板，建議在Z軸下面安裝大理石基座。
規(guī)格指標
軸系 Axis | 測試項目 Test Items | 單位 Units | 指標 Specification |
Z 軸 | 行程 | mm | 50 |
補償后定位精度 | μm | ±1 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.5 | |
微動步距 | nm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 5 | |
X 軸 | 行程 | mm | 210 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | |
平面度 | μm | ±1.5 | |
微動步距 | μm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 150 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 210 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | |
平面度 | μm | ±1.5 | |
微動步距 | μm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 150 | |
A 軸 | 行程 | ° | ±45 |
補償后定位精度 | arc sec | ±5 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 4 | |
徑向跳動誤差 | μm | 4 | |
微動步距 | arc sec | 4 | |
工作速度 | °/s | 30 | |
B 軸 | 行程 | ° | 360 |
補償后定位精度 | arc sec | ±5 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 4 | |
徑向跳動誤差 | μm | 4 | |
微動步距 | arc sec | 4 | |
工作速度 | °/s | 90 | |
ZXYAB | 負載 | kg | 10 |
采購中心
化工儀器網(wǎng)