| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 8千-1.5万 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,包装/造纸/印刷,钢铁/金属,航空航天 |
结构特点
三轴精密运动台为直驱紧凑式结构，XY轴三片叠层的方式，有效地降低工作点的高度，Z轴采用低摩擦气缸配重，可以抵消负载的重力，从而降低电机持续推力的要求，减小运动台发热量，断使能负载不会受重力影响而向下脱落?？谷涠徊婀鲋脊欤鲋徊媾帕?，多方向受力稳定。
精度性能
RBN-XYZ轴电子分辨率0.3nm或5nm选配，定位精度±50nm，双向重复定位精度±10nm，直线度和平面度±0.75μm以内，是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤2nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制用于10^-7Torr真空环境下的版本；定制MAX加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格指标
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下的精度指标，MAX速度和加速度取决于负载大小。
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