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VTC-600-3HD 三靶磁控溅射仪

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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。

主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。

未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!

公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




紫外可见分光光度计,原子荧光光度计,原子吸收分光光度计,紫外分光光度计,气相色谱仪,液相色谱仪,电子天平,旋光仪,熔点仪

应用领域 医疗卫生,环保,化工,生物产业,电子/电池
    三靶磁控溅射仪主要特点:

    1、配置三个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜(靶枪可以根据客户需要任意调换)。

    2、可制备多种薄膜,应用广泛。

    3、体积小,操作简便。

    4、整机??榛杓?,真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计,可根据用户实际需要调整。

    5、可根据用户实际需要选择电源,可以一个电源控制多个靶枪,也可多个电源单一控制靶枪。

    技术参数:

产品名称 VTC-600-3HD双靶磁控溅射仪
产品型号
VTC-600-3HD
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
主要参数
1、电源电压:220V  50Hz
2、总功率:<2.5KW
3、极限真空度:< E-6mbar(配合本公司设备使用可达到 E-5mbar)
4、工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)
5、靶枪数量:3个
6、靶枪冷却方式:水冷
7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
8、直流溅射功率:500W(可?。?br style="box-sizing: border-box;" /> 9、射频溅射功率:300W/500W(可选)
10、载样台:Ø140mm,可根据客户需求选配加装偏压功能,以实现更高质量的镀膜。
11、载样台转速:1rpm-20rpm内可调
12、?;て澹篈r、N2等惰性气体
13、进气气路:质量流量计控制2路进气,1个流量为100 SCCM,1个流量为200 SCCM

产品规格

主机尺寸:500mm×560mm×660mm,
整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm;
重量:160kg

标准配件 1直流电源控制系统2套
2射频电源控制系统1套
3膜厚监测仪系统1套
4分子泵(德国进口)1台
5冷水机1台
6冷却水管(Ø6mm)4根
可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材
掩膜版
振动样品台

 

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