KJ-1200-S6014LK1-H PECVD设备 化学气相沉积炉
参考价 | ¥ 155000 |
订货量 | ≥1 |
- 公司名称 郑州科佳电炉科技有限公司
- 品牌
- 型号 KJ-1200-S6014LK1-H
- 产地 河南郑州高新区玉兰街55号
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2016/5/23 17:46:28
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箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件,加热元件及耐火材料。
科佳电炉立足于化验设备产品的研发制造,全面开发生产气氛炉,管式炉,量热仪,测硫仪,马弗炉,高温箱式炉,管式炉,烤瓷炉,箱式马弗炉,真空炉,管式炉CVD系统,升降炉产品。
产品描述:
KJ-1200-S6014LK1-H多路混气管式PECVD系统,由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成
技术参数:
产品名称 | 管式PECVD系统(CE认证) |
管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-1200-S6014LK1-H |
炉管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作温度 | 1100℃ |
zui高温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
温控系统 | 30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
温控精度 | ±1℃ |
温控?;?/span> | 具有超温和断偶?;すδ?/span> |
zui快升温速率 | 30ºC/M |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
zui大功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 | 石英炉管 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
真空系统部分 | |
名称 | 高真空分子泵 |
主要参数 | 高真空分子泵组,高真空复合真空计 前级泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接
|
真空显示 | 复合真空计 |
冷却系统 | 循环水冷机 |
气路系统部分 | |
名称 | 3路质子流量计 |
型号 | D07-26 |
主要参数 | 基准源:+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10% 50Hz |
射频器部分 | |
名称 | 射频自动匹配器 |
匹配功率范围 | 0-500W |
工作频率: | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配时间 | <3S |
传输效率 | >90% |
匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
输入连接器 | N型 |
输出连接器 | UHF |
控制模式 | 手动/自动 |
可设预置点数 | 7 |
匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130 MM |
整机重量 | 5.5KG |
说明:1、本产品的规格参数仅供参考,以具体产品实际参数为准,请与销售及咨询客服人员。
2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除标准产品外、我公司可根据客户要求,进行设计生产,具体与销售人员,