极紫外EUV/软X射线光源

无电极Z-Pinch技术

    各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。

Energetiq*的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却*不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到zui低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

EQ-10无电极Z-Pinch 10瓦EUV光源

    EQ-10是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10 EUV光源特别适合测量学和研究应用。EQ-10 EUV光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10可以在2π球面度输出高达10W的EUV功率，并以高达2KHz的脉冲重复频率连续运行。

性能

1、使用氙气在2π球面度输出10W

2、高达2KHz脉冲重频率

3、小等离子体尺寸

4、低残留

5、低成本

6、氙气流速低

7、将消耗成本降至zui低

8、占地面小

可靠性

1、无电极Z-Pinch技术

2、符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1、EUV度量学

2、耐EUV开发

3、缺陷检测

4、EUV显微学

EQ-10HP无电极Z-Pinch 20W EUV光源

    EQ-10HP是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HP EUV光源特别适合计量学和研究应用。EQ-10HP工作的输入功率显著高于之前的型号且亮度也显著提高，使之适合于诸如EUV掩膜检测的成像应用。EQ-10HP光源的?？榛杓剖怪苋菀准傻焦ひ丈璞钢?。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10HP可以在2π球面度输出高达20W的EUV功率，并以高达2.5kHz的脉冲重复频率连续运行。

性能

1.使用氙气在2π球面度输出20W

2.高达2.5kHz脉冲重频率

3.小等离子体尺寸

4.低残留

5.低成本

6.氙气流速低

7.将消耗成本降至zui低

8.占地面小

可靠性

1.无电极Z-Pinch技术

2.符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1.EUV掩膜检测

2.EUV度量学

3.耐EUV开发

4.EUV显微学

EQ-10HR无电极Z-Pinch 10kHz EUV光源

EQ-10HR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HR高重复率EUV光源特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。EQ-10HR EUV光源为一个独立系统，可以直接集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空泵子系统、功率输出子系统和控制电路。

性能

1.10kHz重复率

2.小等离子体尺寸

3.低残留

4.低成本

5.氙气流速低

6.将消耗成本降至zui低

7.占地面小

可靠性

1.无电极Z-Pinch技术

2.符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1.EUV光学元件测试

2.EUV计量学

3.耐EUV开发

4.缺陷检测

5.EUV显微学

EQ-10SXR无电极Z-Pinch软X射线光源

      EQ-10SXR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氮气的无电极Z-Pinch技术。

EQ-10SXR组成包括一个19英寸机架，包括气体亚系统、功率输出系统和控制电路；集成真空泵的无电极Z-Pinch光源组装；和一个高效率脉冲调制器。?？榛杓剖怪苋菀准傻较晕⒕祷蚱渌τ蒙璞钢?。

EQ-10SXR可以在2π球面度输出高达400mW的2.8nm波长功率，并以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。

为了满足不同设备的应用要求，用户可以调节光源的工作条件，用户可以调到zui高功率zui高亮度。在典型工作条件下等离子体尺寸一般小于1mm直径。用户可以通过彩色触摸屏操作，可手动和自动工作。EQ-10SXR很好安装，要求电源、冷水机、净化压缩空气和高纯氮气源。

特点

1、使用氮气产生2-4nm软X射线

2、等离子体直径小于1mm

3、性价比高、结构紧凑

应用

1、水窗显微镜

2、细胞微光束探测

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