探针台-测试设备
光刻机,镀膜机,磁控溅射镀膜仪,电子束蒸发镀膜仪,开尔文探针系统(功函数测量),气溶胶设备,气溶胶粒径谱仪,等离子增强气相沉积系统(PECVD),原子层沉积系统(ALD),快速退火炉,气溶胶发生器,稀释器,滤料测试系统
探针台-测试设备(Analytical Probe Station)
仪器特点
1、同轴驱动台面
2、RF射频探针升级
3、20 – 4000倍的放大
4、后座自由的运动
5、载物台快速升降
6、晶圆取放简单
7、压盘上下精细调节
8、探针卡尖超速传动调节
探针台-测试设备(Analytical Probe Station)
仪器规格
真空载物台: 4/6/8/12英寸不锈钢
载物台Theta: 0 – 30度转动
压盘上下粗调:6毫米范围内控制杆调整
压盘上下微调:25毫米手动轮子调整
压盘:12微控定位器
显微镜台:1英寸x1英寸移动
真空泵:7升/分钟,-250mmHg
尺寸:780毫米长x660毫米宽x700毫米高
重量:80Kg
附件
低电流、低电容探针
RF探针、电缆
主动探针
超声切割
PCB夹具、镀金载物台
热台、冷却系统
防震台、屏蔽罩、黑箱
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