在半导体材料与光电器件（如太阳能电池、LED、光电探测器）的研发与测试中，高效、精准且灵活的光电性能表征至关重要。

天恒科仪光电耦合测量系统，采用高度集成化设计，将精密电学测量与灵活光学激励能力融合于单一平台，提供高性价比的一站式解决方案。

核心优势与设计亮点

多源激励，全谱覆盖：

支持紫外 (200nm) 至红外 (2500nm) 宽光谱激励。

光源类型多样：氙灯复合光源、激光器、LED等可选。

采用三光栅单色仪结合消二次色散设计，确保输出单色光纯度高，满足严苛测试需求。

光路智能，尺寸可控：

提供聚焦照明（微区分析）与均匀照明（大面积扫描）两种模式。

光斑尺寸可在 1μm 至 5mm 范围内精确连续调节，适应多样化测试场景。

?？槔┱?，功能强大：

基础平台支持选配光致发光光谱 (PL)、电致发光光谱 (EL) 等高级测试模块，轻松应对前沿研究挑战。

详细参数

精密探针台：

配备 3.5 μm 分辨率 光学显微镜。

集成 2000万像素 工业相机，支持 1X-5X 数码变焦，实现精准观测与定位。

兼容性： 六英寸晶圆或独立芯片。

定位精度： 高精度四探针系统，定位底座分辨率达 0.7 μm。

电学接口： 双通道低噪声探测接口，支持旋转测量。

光学观测：

探针选择： 提供多种规格探针 (针尖: 10μm, 20μm, 50μm, 100μm)。

智能可调光源：

单色光输出范围：250nm - 1700nm。

输出带宽 (带宽)：连续可调。

集成六位自动滤光片轮，适用 200nm - 1800nm。

光源核心： 150W 氙灯光源，覆盖 200nm - 2500nm。

分光核心： 三光栅单色仪，焦距 300mm，采用非对称消像差光路设计，有效抑制杂散光。

输出特性：

智能控制： 软件全自动控制波长扫描、滤光片切换、步长、延迟时间等。

光路配置： 支持定制光纤输出，实现光路灵活配置。

高性能数字源表 (SMU)：

电流分辨率：0.1 fA (飞安培)。

电压分辨率：1 μV (微伏)。

电压：±200mV ~ ±200V。

电流：±1μA ~ ±1A。

功率：20W。

宽范围输出/测量：

超高精度：

工作模式： 四象限工作，可无缝切换源 (Source) 与 (Sink) 模式。

丰富功能： 内置电压比较器，数字I/O，支持触发扫描。

通讯接口： GPIB, RS-232, USB, LAN。

多功能测试软件：

配置输出通道、测量通道。

设置扫描模式 (电压、电流、光波长、功率、时间等)。

自定义步长、延迟时间、循环次数。

集中控制： 统一界面控制光源、源表 (SMU)、运动平台等所有设备。

应用领域

光电器件表征： 

太阳能电池（IV, QE/IPCE, EL）、LED/激光器（LIV, 光谱, 近?。⒐獾缣讲馄鳎ㄏ煊Χ? 暗电流, 噪声）。

半导体材料分析： 

光致发光光谱（PL）、电致发光光谱（EL）测试，用于材料能带结构、缺陷态、载流子动力学等研究。

微纳器件测试：

 对MEMS、传感器、小型化光电器件进行精密的光电性能与可靠性测试。

工艺监控与质量控制：

在半导体和光电子器件生产线上进行快速、自动化的参数测试与分选