Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪（PFS）

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪（PFS），专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

产品特点：

• 数据输出及可视化：符合 ISO 14644-17 标准

• 高通量检测：可检测低至 0.5 um 颗粒

• 快速：10 秒完成 2 英寸面积检测

• 定量：适用于生产与研发环境的验证与监测

生产过程中的一致性测量

快速: 秒级连续监测

定量: 适用于生产与研发环境的验证与监测

易操作: 操作员简单培训即可使用

精准: 高分辨率测量（数量、时间线、位置、尺寸）

一致性: 可重复的客观测量结果

高吞吐量: 现场实时分析

监测颗粒沉积速率（DPRL）

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪（PFS）采用紧凑的工 业设计，依据 ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 标准，监测颗 粒沉积速率（DPRL）。该设备使工艺/质量工程师能够实时 监控洁净室环境中关键区域的颗粒沉降情况。

在关键区域实现持续监测

区别于传统的仅监测空气悬浮颗粒，该系统可以对关键表 面的颗粒污染控制和洁净度验证进行持续监测。 亚微米级颗粒并非始终悬浮于空气中，它们可能沉积于关 键表面，影响技术洁净度与产品质量。

该仪器采用 2 英寸晶圆采集环境中的落尘颗粒，并可每 隔 10 秒左右对晶圆表面的颗粒进行连续粒子沉降监测。 其检测粒径尺寸为 ≥0.5（通过 NIST 认证），并准确量化 沉降速率。 软件界面简单直观，可以一键生成报告。

Fastmicro PFS  是  一 款 高 精 度 原 位 检 测 颗 粒 的 仪 器，帮 助 工 程 师 应 对洁净工艺控制挑战。

结合 Phenom XL 扫描电镜，可以 便捷高效的进一步对颗粒物进行成分表征和溯源分析。