•整機外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

•雙探針座平臺鍍鏢設(shè)計，提高了針座平臺和針座之間的吸附力；

• ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計，行程25mm*25mm,精度2um；

• ChJKZC-UCk大?。?英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨立控制；

•卡盤電學(xué)獨立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；

-臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的干擾;

•整機人體工程學(xué)設(shè)計，操作簡單，使用便捷。

(2)倒裝手動測試夾具

-可給樣品加載DC或者RF信號；

•樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)并固定；

-具備微調(diào)功能，精度0.1度；

•玻璃樣品載臺，高透光性；

•可無磁化設(shè)計，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運用較為廣。

(3)光電流測試顯微鏡

-可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學(xué)性能；

-顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計，對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響；

-導(dǎo)入光光路可選擇光時間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對各種參數(shù)進 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試系統(tǒng)里會用到，同一個物鏡不切換，得到兩個不同視野的成像。

(4）TEC制冷卡盤

•釆用TEC制冷，無需液氮，使用方便；

可給樣品提供不同溫度環(huán)境；

-樣品臺大小可選，防干擾設(shè)計，具備良好的接地性能;

•溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C；

•樣品臺微調(diào)升降，行程O-lOmm,精度10um_o

(5)磁場探針臺(無磁設(shè)計)

•在探針臺的基礎(chǔ)上，可加載三維磁場，多維磁場，磁場強度，精度和間隙均可調(diào)整;

-高剛性結(jié)構(gòu)，所有零配件均采用無磁化材料；

-可加載高低溫，可同時進行DC和RF測試；

-可以旋轉(zhuǎn)，可客制化。

⑹110g以上高頻測試探針臺

-可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試；

•大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；

-顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴大了顯微鏡視場；

-兼容直流與高頻信號；

-可以定制,可升級性強；

-最大可以測試12英寸樣品,探針臺chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離。

(7)自動測試系統(tǒng)

-自動探針測試系統(tǒng)，可以與半?yún)?，網(wǎng)分聯(lián)動；

-電動二維平臺，可手動和電動操作；

• ChJKZC-UCk XY軸運動行程100*100mm,復(fù)定位精度＜±lum；

• X-Y軸驅(qū)動:電機+絲桿+光柵尺；

-探針/光纖探針XYZ軸電動模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum；

-X-Y-Z軸驅(qū)動:電機+絲桿+光柵尺。

(8)可升降平臺

產(chǎn)品型號：

T-station

產(chǎn)品參數(shù)：

-尺寸和重量定制；

-單個探針座平臺最多可同時放置3個探針座；

-探針座平臺表面鍍鏢，增大與探針座之間的吸附力;

-隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板，美觀，并且方便拆卸；

-平臺可升降，升降高度和精度可定制；

-可配合光電流顯微鏡使用。

(9)高精度納米探針座

產(chǎn)品型號：

JKZC-DCH-20nm

產(chǎn)品參數(shù)：

-X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；

-YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm；

-釆用高精度壓電陶瓷設(shè)計，可以固定步距撥動樣品或者納米線。

(10)毫米級手持式探針夾具

I產(chǎn)品型號

JKZC-DCH

I產(chǎn)品參數(shù)

•整體尺寸:20*20*180mm;

-萬向調(diào)節(jié)旋鈕，方向可調(diào)，松緊可調(diào)；

磁吸底座，直徑20mm;

•兼容彈簧針和晶圓針；

-Cable接頭可定制三軸，同軸或者其它。

(11) FA失效分析探針臺

產(chǎn)品型號

FA

I產(chǎn)品參數(shù)

•探針臺系統(tǒng)可以選用：4~12英寸JKZC-DN系列探針臺。

•激光系統(tǒng)可以選用美國ESI三波段激光器或者法國 quantel激光器

•美國ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)

鐳射波長1064和532nm和355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻率lHz~50Hz

可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等

最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)

最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)

搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

我們經(jīng)過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、 泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù) 分析儀有過多次搭配經(jīng)驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺集成測試方案和服務(wù)。

搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司 可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的 網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型號的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺集成測試方案和服務(wù),具備豐富的測 試經(jīng)驗。

搭配產(chǎn)品/其他類型源表

在其它類型源表方面，比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普賽斯 S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭 配經(jīng)驗。