 |
中图仪器SuperViewW高精度光学3D表面轮廓仪基于白光干涉技术，分辨率达0.1nm，支持从超光滑到粗糙表面的全类型样件检测。覆盖半导体、3C电子、光学加工、汽车零部件、MEMS器件等领域，兼容多种材质（透明、高反光、黑色等）。
SuperViewW高精度光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。
产品特点
1、干涉物镜
不通倍率的镜头，适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。
2、双通道气浮隔振系统
外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统，可有效隔离地面传导的振动噪声。
3、声波隔振防护
仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计，有效隔离了声波振动的传导。
4、水平调整装置
倾斜调整旋钮，调整条纹宽度，提高3D图像的重建精度。
5、便携式操纵杆
采用人体工程学设计，集成了XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制，并配有紧急停止按钮。
6、真空吸附台
专为半导体晶圆片定制的真空吸附台，确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影像。
7、3D重建算法
自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，测量精度可达亚纳米级别。
自研3D显微测量软件平台Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主开发的第二代显微3D测量软件平台，集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能?？椋芄皇逝渲型糤系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型，可自主识别机型种类，二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。
Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验，重构了显微影像测量功能，可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。
自动化mark点识别坐标定位自动化功能
Mark点影像识别自动坐标位置校正，多区域坐标点自动定位测量与分析，可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。
自动拼接功能
支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量。
应用领域图片
SuperViewW高精度光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
部分技术指标
| 型号 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系统 | 1024×1024 | |
| 干涉物镜 | 标配：10× 选配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光学ZOOM | 标配：0.5× 选配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物镜塔台 | 标配：3孔手动 选配：5孔电动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移动范围 | 140×100㎜ | |
| 负载 | 10kg | |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
| 主机尺寸（长×宽×高） | 700×606×920㎜ | |
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。
采购中心