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SuperViewW白光干涉表面轮廓测量仪

2025-07-21

产      地:
深圳市南山区西丽街道学苑大道1001号南山智园B1栋5楼
所在地区:
广东深圳市
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中图仪器白光干涉表面轮廓测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

产品特点

1、白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

白光干涉表面轮廓测量仪

2、针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接??橄拢恍枰范ㄆ鸬愫椭盏?,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

白光干涉表面轮廓测量仪


产品功能

1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;

2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;

5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件???,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;

6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大??榈氖荽砉δ埽?/p>

7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;

9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;

10)故障排查功能:配置诊断???,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;

11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;

12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;

13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;

14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;

15)镜头安全功能:双重防撞?;?,软件ZSTOP防撞?;ぃ柚煤蠹匆缘鼻拔恢梦灰葡孪尬?,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效?;ぞ低泛蜕柚幔宋僮鞯陌踩缦?。


自研3D显微测量软件平台Xtremevision Pro

白光干涉表面轮廓测量仪

Xtremevision Pro

全自主开发的第二代显微3D测量软件平台,集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能??椋芄皇逝渲型糤系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型,可自主识别机型种类,二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。

Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验,重构了显微影像测量功能,可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。


自动化mark点识别坐标定位自动化功能

白光干涉表面轮廓测量仪

Mark点影像识别自动坐标位置校正,多区域坐标点自动定位测量与分析,可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。


自动拼接功能

白光干涉表面轮廓测量仪

SuperViewW中图仪器白光干涉表面轮廓测量仪支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量。


应用领域图片

SuperViewW白光干涉表面轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

白光干涉表面轮廓测量仪

部分技术指标

型号                W1
             
光源
             
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台
             

标配:3孔手动

选配:5孔电动


                 

XY位移平台
                 

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程                100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。



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