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中科儀北交所IPO申請獲受理 擬募資擴產(chǎn)半導體核心設備
2025年07月17日 14:22:51
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：280
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（中科儀）北交所IPO申請獲受理。本次IPO擬募資8.52億元，主要用于干泵擴產(chǎn)、高端半導體設備研發(fā)中心建設及新一代產(chǎn)品研發(fā)。
北京證券交易所于6月30日正式受理了中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(簡稱：中科儀)的首次公開發(fā)行股票并上市的申請。
中科儀是中國領先的干式真空泵及真空科學儀器設備供應商，主營業(yè)務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關技術服務。其核心產(chǎn)品干式真空泵是集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導體生產(chǎn)中的關鍵設備，長期由歐美及日本企業(yè)主導。中科儀通過自主研發(fā)實現(xiàn)了技術突破。
在干式真空泵領域，中科儀的產(chǎn)品滿足14nm先進邏輯芯片及128層及以上3D NAND存儲器的工藝要求，并在國內(nèi)先進制程領域?qū)崿F(xiàn)批量應用。公司已服務于中芯國際、長江存儲、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技等半導體設備廠商。其產(chǎn)品已通過臺積電、大連英特爾、SK海力士的測試驗證，實現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導體外，產(chǎn)品在碳化硅、砷化鎵等化合物半導體制備中也實現(xiàn)批量交付。
在真空科學儀器設備領域，中科儀深度參與國家重大科技基礎設施建設，先后承擔了包括北京正負電子對撞機、上海光源、北京高能同步輻射光源等在內(nèi)的11項國家重大科技基礎設施的關鍵真空部件研制工作，是光束線、波蕩器、前端區(qū)等核心部件的最主要研制單位。其前身成功研制了國產(chǎn)分子束外延設備(MBE)，打破了國外長期禁運。
財務數(shù)據(jù)顯示，中科儀近年來業(yè)績持續(xù)增長。2022至2024年，公司營業(yè)收入分別為6.98億元、8.52億元和10.82億元；對應的凈利潤分別為4.98億元、6億元和1.93億元。
此次IPO，中科儀計劃募集資金8.52億元，主要用于三個項目：
干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設項目擬使用募集資金2.31億元，建設期4年。該項目旨在通過新建廠房、購置高端生產(chǎn)設備、建設智能化產(chǎn)線，顯著提升干式真空泵的產(chǎn)能，最終形成年產(chǎn)20,040臺的生產(chǎn)能力。項目將大幅提升加工產(chǎn)線的自動化及智能化水平，目標自動化率超過90%。公司指出，在集成電路晶圓制造生產(chǎn)線中，約70%的專用裝備需要在真空工藝環(huán)境下生產(chǎn)組裝，干式真空泵因其環(huán)保、高效、清潔無油及耐腐蝕的特性，成為該行業(yè)的首選真空獲得設備。目前項目已完成土地購置、部分廠房及產(chǎn)線建設以及部分設備購置。
高端半導體設備擴產(chǎn)及研發(fā)中心建設項目擬使用募集資金4.74億元。該項目將建設高端半導體設備生產(chǎn)、研發(fā)及配套設施，引入自動化生產(chǎn)設備和先進的研發(fā)測試儀器。主要目標是擴大H系列干式真空泵的產(chǎn)能，該系列產(chǎn)品是集成電路設備(如刻蝕、PVD、CVD工藝)中的重要配套設備，也可應用于泛半導體領域。同時，項目也將擴產(chǎn)少量主要用于科研、工業(yè)、醫(yī)藥等領域的渦旋泵。
新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目擬使用募集資金1.21億元，建設期3年。該項目將研發(fā)面向半導體領域的超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品，同時面向泛半導體、工業(yè)真空、儀器制造、科學研究等更廣闊市場，開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機組。項目還將建設數(shù)字化管理平臺，以支撐未來的研發(fā)與業(yè)務發(fā)展。
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