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行業(yè)產(chǎn)品

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高低溫晶圓測(cè)試真空探針臺(tái)

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  • 型號(hào) LSO-WPS100-TEC
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2020-01-02 16:41:54瀏覽次數(shù):205

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用領(lǐng)域 農(nóng)林牧漁,能源,電子/電池
可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K-450K);防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好;兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng);探針熱沉設(shè)計(jì);可升級(jí)自動(dòng)流量控制;可升級(jí)加載磁場(chǎng)支持光譜波長(zhǎng)/光功率特性測(cè)試;器件的高頻特性(支持67GHz頻率);VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長(zhǎng)測(cè)試;VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測(cè)試。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性 

1. 可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K-450K

2. 防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好

3. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng)

4. 探針熱沉設(shè)計(jì)

5.可升級(jí)自動(dòng)流量控制

6. 可升級(jí)加載磁場(chǎng)

7. 支持光譜波長(zhǎng)/光功率特性測(cè)試

8. 器件的高頻特性(支持67GHz頻率)

9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長(zhǎng)測(cè)試

VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性測(cè)試

 

主要技術(shù)指標(biāo) 

 

型號(hào)

LSO-WPS50-TEC

LSO-WPS100-TEC

LSO-WPS50C-TEC

外形

900mm長(zhǎng)*

900mm寬*

530mm

1100mm長(zhǎng)*

1100mm寬*

530mm

1100mm長(zhǎng)*

1100mm寬*

1030mm

重量

約170公斤

約190公斤

約290公斤

電力需求

AC220V, 50~60Hz

樣品臺(tái)

尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

樣品固定方式

真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片

樣品臺(tái)移動(dòng)

固定的樣品臺(tái)

真空度

10^-10torr真空

光學(xué)特性

顯微鏡行程

2*2英寸

4*4英寸

2*2英寸

放大倍數(shù)

變焦:7:1分辨率4μm(放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡(20X-1000X)

真空腔觀察窗尺寸

2inch

4inch

2inch

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

溫度控制

制冷方式

液氮/液氦

制冷壓縮機(jī)

控制方式

開(kāi)循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制

閉循環(huán)自動(dòng)控制

控溫范圍

77~450K/4.2K~450K

4.2K~450K

控溫分辨率

0.001k

溫度穩(wěn)定性

4.2K     ±0.2K           77K      ±0.1K

373K     ±0.08K         473K     ±0.1K

823K     ±0.2K(可選)       973K     ±1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時(shí)間

90min

150min

8K到常溫升溫時(shí)間

90min

90min

常溫開(kāi)始的升溫時(shí)間

100℃      150℃                  200 

30min      50min                  80min

加熱電源

LVDC低壓直流

傳感器

硅二極管

傳感器數(shù)量

樣品臺(tái),防輻射屏,探針臂各一個(gè)

功率

50W/100W/500W/1000W

點(diǎn)針規(guī)格

探針數(shù)量

2個(gè)/4個(gè)/6個(gè)

探針調(diào)節(jié)

真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動(dòng)控制

點(diǎn)針精度

10微米/2微米/0.7微米

點(diǎn)針行程

25mm-25mm-25mm

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

三軸/SMA/K/光纖接口

應(yīng)用方向

高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等

 

 

 

 

 

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