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行業(yè)產(chǎn)品

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高低溫分析晶圓測(cè)試探針臺(tái)

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  • 型號(hào) LS-WPS200-TEC
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2020-01-02 13:42:59瀏覽次數(shù):311

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,農(nóng)林牧漁,能源
非真空環(huán)境下的低溫測(cè)試,可達(dá)-100℃ ;大手柄驅(qū)動(dòng),操作舒適,無(wú)回程差設(shè)計(jì);兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) ;0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試;.高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

 

1. 非真空環(huán)境下的低溫測(cè)試,可達(dá)-100℃     

2. 大手柄驅(qū)動(dòng),操作舒適,無(wú)回程差設(shè)計(jì)

3. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng)      

4. 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試

5. 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用         

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測(cè)試

7. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試                       

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測(cè)試

9. 精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)          

10. 器件的高頻特性測(cè)試(可至300GHz頻率)

 

主要技術(shù)指標(biāo)

 

 

型號(hào)

LS-WPS150-TEC

LS-WPS200-TEC

LS-WPS300-TEC

外形

860mm長(zhǎng)*

850mm*

700mm

880mm長(zhǎng)*

860mm*

750mm

1400mm長(zhǎng)*

920mm*

920mm

重量

150公斤

170公斤

250公斤

電力需求

220VC, 50~60Hz

樣品臺(tái)

尺寸

6英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

8英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

12英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移動(dòng)精度

1um

切換樣品功能

樣品臺(tái)快速拉出

樣品固定方式

真空吸附

電學(xué)運(yùn)用

電學(xué)獨(dú)立懸空,可作為背電極使用

針座平臺(tái)

規(guī)格

O型平臺(tái),多可以放置8個(gè)針座

O型平臺(tái),多可以放置10個(gè)針座

O型平臺(tái),多可以放置12個(gè)針座

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺(tái)可以快速升降,行程6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,升降精度1um

溫控特性

溫度范圍

-100~200℃

-80~200℃

-60~200℃

溫控精度

溫度分辨率:0.01℃

加熱電源

LVDC低壓直流

低控溫速率

±0.1℃/小時(shí)

制冷方式

液氮制冷

光學(xué)特性

顯微鏡行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm

切換鏡頭方式

顯微鏡氣動(dòng)升降

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

鏡頭規(guī)格

目鏡:10X;  物鏡:5X,  10X,  20X,  50X,  100X (選配)

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

點(diǎn)針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

機(jī)械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏電精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱時(shí))

接口形式

香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸/SMA/K接口

應(yīng)用方向

高低溫環(huán)境下,LD/LED/PD測(cè)試,PCB/封裝器測(cè)試,射頻測(cè)試等

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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