Microsense(aKLACompany)設(shè)計(jì)制造高精度的電容式位移傳感器(分辨率低至1nm)。傳感器包含有無(wú)源和有源,可根據(jù)客戶(hù)的需求選用。不同帶寬的設(shè)計(jì)可以滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)于高速采樣的要求。
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