Microsense(美国KLA子公司) 高精度电容式位移传感器

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        精密电容式位移传感器，用于精确位置测量短距离高分辨率的非接触式位置测量与任何市售电容式位移传感器相比，MicroSense的电容式位移传感器提供的噪声性能低，可实现纳米甚至皮米分辨率。有几种类型的传感器可供使用-这些“”电容式位置传感器针对高稳定性和线性度或针对快速响应的测量带宽进行了优化。

所有MicroSense®精密电容式传感器的特点：

·         *非接触式电容位置测量-现有机器精确的电传感技术

·         检测任何导电的，接地的目标-表面光洁度或材料对精度没有影响

·         针对较短的测量范围进行了优化10微米至4毫米，具体取决于传感器的尺寸

电容式位移传感器-应用

与其他类型的精密位置传感器相比，电容式位移传感器具有以下主要优势–

·        电容式位移传感器可在短范围内（通常从10微米到2毫米）提供高达纳米级的高分辨率。

·         电容式位移传感器是*非接触式的，可与导电的接地目标一起工作

·         电容式位移传感器提供高测量带宽–取决于型号，可达10KHz，20KHz或100KHz

一、型号简介：

  1 、被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

  被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器?；谧非蟮南咝院臀榷ㄐ远杓?，其测量带宽高达20千赫-于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

  2 、主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

  -----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

  6810型高分辨率电容式传感器提供了*的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承

  机床主轴应用，主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量( run out measurement)，如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

 二、 性能：

  1) 测量距离--± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择

  2) 高测量带宽(高频率响应)可选-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

  3) 适用于任何接地，导电的目标--材料或表面光洁度对精度没有影响

  4) 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

  5)线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

 三、 应用：

  1 定位功能 ：

  1)用于伺服反馈传感器纳米定位器

  2)快速机床私服系统定位

  2 距离和位移测量：

  1)尺寸测量和检验

  2)转轴位移测量

  3 跳动测量：

  1)精密马达和转轴的跳动测量

  2)主轴计量与主轴跳动测量

  3)精密样品台的直线度和平面度测量

  4 厚度测量 ：

  1)磁性介质厚度测量

  2)蓝光光盘模具厚度测量

  5 自动对焦和调零：

  半导体晶片表面检测(聚焦平面控制)

  6 振动测量：

  1)精密工作台振动测量

  2)传动轴振动测量

  3)主动隔震系统伺服反馈系统

四、产品原理简图