自动拼图软件（AIM）在SEM大景深样品拍摄中的应用

图1 自动拼图软件界面

自动拼图（Automated Image Mapping）软件（图1）选件是飞纳电镜的又一功能强大的实用软件。其主要优势总结如下：

• 大范围内自动收集多张图片
• 生成大面积视野的图片
• 自动生成高分辨率、高清晰度大图
• 操作简单，“选择区域”然后“扫描”即完成

以下举例说明其各个优势及其应用场合：

• 大范围多张图片的收集对于ParticleMetric颗粒系统、PoroMetric 孔洞系统的作用

下图2(a) 是颗粒样品的AIM拼图结果，这张图的分辨率达到了9631×6683，占用空间达到了31.8Mb，采用70张图拼成，单张图片的效果见图2(b)。此图只需要选好区域之后，软件自动生成即可。颗粒系统和孔洞系统软件可以把 AIM 的结果全部导入，一次zui多自动处理1000张图片，统计颗?；蚩锥吹牡闹本丁⒃捕鹊仁荩远赏臣票ǜ?。

(a)

(b)

图2 (a) 自动拼图软件结果 (b)拼图中捕捉到的单张图片

• 大面积视野的图片对于寻找目标特征点的意义

图3 寻找大视野范围的特征物

图3所示为珊瑚砂样品，为了寻找其中的特征物，我们对可能存在的局部进行了自动拼图，完成后结果一目了然，即可轻易地辨认其中的海洋生物化石。同样的功能也可以应用在杂质的寻找方面，公司的产品质控部门往往需要找到杂质的位置，而微观的杂质寻找需要耗费大量的人力，有了AIM软件，便不需要借助光学显微镜数小时的寻找，只需选择目标区域，软件自动找寻。

• 高分辨高清大图对于大景深样品拍照的作用

(a)

(b)

图4 金属断口样品的AIM拼图结果 (a) AIM拼图界面 (b) 局部的单图

图4 中显示了AIM在断口类大景深样品中的应用，由于AIM的跟踪对焦功能和跟踪自动亮度对比度功能，可以实现样品在凹凸起伏较大的情况下，不同的局部不同的焦距，zui终使样品在大图中的各个位置均非常清楚。这样就有效避免了电镜拍摄时“大景深模式“带来的清晰度损失，以及景深过大导致的“局部清晰、局部模糊”的情况。

图5 自动拼图软件工作原理示意图

图5 是AIM自动拼图软件跟踪对焦(Follow Focus)的工作原理示意图，可以清晰地看到，当样品表面高低起伏时，BSD探头可以根据焦距的变化自动优化焦距和亮度对比度，从位置1移动到位置2的过程中，不需要人为干预，自动给出*清晰度和显示效果的图片。在每张小图都可以获得*分辨率的前提下，zui终拼出来的大图效果才会是、*、高清大图。

zui后，不得不提的是，作为一款如此精品的软件，价格却是0元，*免费！只要配备了prosuite软件套装里的其他任何一款软件，本软件免费赠送。